元器件氦质谱检漏失效判据的分析-太赫兹科学与电子信息学报.PDFVIP

第 14 卷 第 3 期 太赫兹科学与电子信息学报 Vo1．14，No．3 2016 年 6 月 Journal of Terahertz Science and Electronic Information Technology Jun．，2016 文章编号： 2095-4980(2016)03-0481-05 元器件氦质谱检漏失效判据的分析 王淑杰，王晓敏 (中国工程物理研究院 计量测试中心，四川 绵阳 621999) 摘 要：比较了现行国军标中氦质谱检漏固定法与灵活法标准判据，在相同条件下，2种方法 的判据有数量级上的差别。相同内腔体积的半导体分立器件、电子及电气元件和微电子器件，由 于器件种类不同，封装、工艺等不同，细检漏的判据仍然存在较大差别。分析了美军标中氦质谱