光电集成加速度计中声光波导相位调制器的研究.PDF

20O4年I2月 传 感 技 术 学 报 第4期 StudyoftheWaveguldePhaseModulatorofthePhoto——Electronic IntegratedAcceleratorDrivenbyaSAW ZHONGJuan-juan，CHENCai-he，ZHANGYan-jun，删 Bo，CUIYu-rning，DINGGui-lan ，CollegeofPrecisionInstrumentandOpto-electronicsEngineering，TianjinUniversity， laboratory ＼D厂ONo-eelctronicsInformationTechnicalScieneeD厂EMC，Tianjin300072， ina ／ Abstract： Akindofnoveloptic-waveguidephasemodulatordrivenbyasurfaceacousticwave(SAW)，appliedtothe silalmodulationofphoto-electronic-integratedacceleratorbasedonMath-Zehnderinterferometry，ispresent．The modulatordepositedonI(8／SisubstrateismadeonthereferenceanTlofM-Zinterferometer，andhtewavelengthis 1．3Frn．Th echaracteristicparameterofhteacoustoopticmodulatorisanalyzedhteoreticallyanddesignde concretely， nadhteparticularparameterispresentedthroughbyhtecalculation．Th emaindesing parametersofhtemodulatorisas following：hteZnO htinfilm Withhtedimensionsof5mm ×0．8mm ×0．003mm interdigitaltransducerwiht htefin- getsof17pairs，hteSAWfrequenceoff0=48MHz，hteelectrodeaperturewidhtoflo=4．46IYlrflnadinterdigital period1=27．19 ／xrn． Keywords： opticalwaveguide；acoustoopticmodualte；surfaceacousticwave(SAW)；interdigitaltlansducer (IDT)；phasemodulation；ZnOthinfilm 光电集成加速度计中声光波导相位调制器的研究 钟娟娟，陈才和，张燕君，吴 波，崔宇明，丁桂兰 (天津大学精密仪器与光电子工程学院，光电信息技术科学教育部重点实验室，天津 300072) 摘要：提出一种新型声光波导相位调制技术，用于光电集成M—Z光波导干涉型加速度计的信号调制。相位调制 器工作在溅射有 lB缓冲层的硅基底上，工作波长为1．3a／n。主要对声光调制器的特性参数进行了理论分析和优 化设计，结果为：氧化锌薄膜尺寸5×0．8×O．003am，叉指换能器叉指对数N=17，中心距 Z=27．19a／n，中心频率 = 48MHz，中心指长 =4．46Erffn。 关键词 ：光波导；声光调制；声表面波(s^w)；相位调制；叉指换能器；氧化锌薄膜 中图分类号 ：TN818 文献标识码：A 文章编号 ：1004—1699(2004)04—0651—04 微光机电系统(MOEMS)是近20年来发展起来 上，具有传统加速度计 无可 比拟的优点，如：稳定 的一个新兴的技术领域，目前已成为众多研究中心 可靠、微型化、抗电磁干扰和低成本。 和工业企业的研究热i,-1c】。光电集成加速度计是 本项 目所研究的