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溅射沉积纳米ZnO膜的表征及其性能-本原扫描探针显微镜SPM
( )
第33 卷第1 期 东华大学学报 自然科学版 Vol . 33 , No . 1
( )
2007 年2 月 J OU RN AL O F DON GHU A UN IV ER SI T Y N A TU RAL SCIEN CE Feb . 2007
文章编号 : ( )
1671 - 0444 2007 01 - 0120 - 05
溅 射 沉 积 纳 米 Z n O 膜 的 表 征 及 其 性 能
李良飞 ,侯大寅
( )
安徽工程科技学院省纺织面料重点实验室,安徽芜湖241000
( ) ( )
摘 要 : 利用 RF 磁控溅射法在 P E T 非织造布表面沉积氧化锌 ZnO 薄膜 ,并利用原子力显微镜 A FM 和能量弥散
( )
X - 射线法 EDX 对 ZnO 薄膜的表面形貌和结构进行表征和分析. 结果表明 ,沉积的 ZnO 颗粒具备纳米级尺度 ,且颗
粒分布均匀 、膜层致密 ,薄膜颗粒中只含有 Zn 和 O 两种元素 ; 随着沉积时间的延长 ,ZnO 呈多层生长模式. 测试表明 ,
n
经 ZnO 镀层处理的 P E T 非织造布具有较强的紫外线屏蔽效果和优良的抗静电效果.
关键词 : 纳米 ZnO ;溅射 ; 防紫外 ;抗静电; P E T ;非织造布 c
.
中图分类号 : TN 16 文献标志码 : A m
C h a r a c t e r i z a t i o n a n d C a p a b i l i t y o f N a n o Z n O
o
F i l m s D e p o s i t e d b y S p u t t e r i n g
c
.
L I L i angf ei , H O U D ay i n
m
( Provincial Key Laboratory of Textile Fabric , Anhui University of Technology Science
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