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半导体工厂超纯水简报 Mark 22/Jul./2014 总流程 原水 1.自来水由原水泵将水抽至CUB(中央动力厂房)。CUB是半导体工厂的心脏，制程用的水电空调化学品等一般都是从这里输出。 运行参数：原水一般水量为195m3/h，最大水量为250m3/h，水压3bar。 多介质过滤器(MMF/砂滤） 1.原水加10%NaOCl后通过热交换器再次加10%PAC后进入多介质过滤器。 2.桶内装填石英砂和无烟煤。 3.配有风机，定期反洗。 用途：主要去除不能溶解的悬浮颗粒和胶体杂物。 运行参数：产水量最大为250m3/h，压力1.5bar，温度20-20℃。 玻璃钢水箱(FRP水箱) 1.过滤水回收至玻璃钢水箱。 2.过滤水箱前有两组泵（每组两台），一组用于反清洗，一组用于给ACF活性炭过滤器供水。 3.桶身直径5m，桶高5m。 运行参数：出口压力为7bar，温度为20-30℃。 迈博瑞生物膜技术南通有限公司 活性炭过滤器(ACF/碳滤） 1.三支，内部填充颗粒活性炭。 2.此段过滤器分为正洗与反洗，正反洗水都回收至废水池，产水为过滤水。 用途：再次处理水中不能溶解的悬浮颗粒和胶体杂物。 运行参数：产水量为200-260m3/h，出口压力为6bar，温度20-30℃。 阴阳离子交换床 1.ACF出水先经过CIX（阴离子桶）加HCl，后AIX（阴离子桶）加NaOH处理，CIX和AIX 可以单独运行。 用途：处理水中的阴阳离子。 2.冲洗水进入过滤水箱，再生水进入废水池，出水为去离子水。 运行参数：产水量为207m3/h，压力为3bar，温度为20-30℃。 保安过滤器(SFL) 1.去离子水加30%NaOH后进入保安过滤器。 2.产水为去离子水。 用途：微滤过滤器保护后端RO膜，不达标的水质和频繁清洗都会影响RO膜的寿命、提升成本。 运行参数：280m3/h，出口压力2.6bar，温度21-30℃。 反渗透过滤膜（RO膜） 1.RO是前段水处理的核心。 2.达标产水进入RO水箱，不达标产水进入过滤水箱，浓水进入废水池。 3.产水为反渗透水。 运行参数：产水水量为248m3/h，出水压力为2bar，温度为21-30℃；浓水水量为18m3/h，出水压力为2bar，温度为24-30℃。 RO水箱 1.水箱采用玻璃钢材质，并使用氮气密封。 2.RO水箱有三组水泵输出 ，一组UV供水，一组阴阳离子交换床冲洗水，一组冷凝设备供水。 运行参数：产水水量为185m3/h，出口为6bar，温度21-30℃。 迈博瑞生物膜技术南通有限公司 紫外线杀菌设备（UV装置） 1.两组，一用一备，单组使用44跟紫外灯管。 2.出水为反渗透产水。 用途：杀灭水中的微生物，降低有机物含量。 运行参数：产水水量为185m3/h，出水压力为5.5bar，操作温度26℃。 初级混床（MBX混床） 1.内装阴离子树脂和阳离子树脂。 用途：全面去除水中的阴阳离子，电阻率由4mΩ/cm提升至17-18mΩ/cm。 2.定期对混床进行再生，使用HCl和NaOH。 3.再生水进入废水池，冲洗水进入过滤水箱，产水为纯水。 运行参数：产水量为185m3/h，出口压力为4bar，温度23-30℃。 脱气膜(MD) 1.由两台真空泵和12支膜壳组成。 2.水由上向下流出，气体由下向上抽出，主要气体为CO2和N2。 3.出水为纯水进入纯水箱。 运行参数：产水水量为180m3/h，出口水压为1.5bar，温度为21-30℃。 迈博瑞生物膜技术南通有限公司 纯水水箱 1.玻璃钢材质，内衬PP，氮封。 2.有一组泵输出，输出水为纯水。 运行参数：产水水量为230m3/h，出口水压为8.5bar，温度为22-30℃。 冷交换器 1.纯水进入交换器，温度降低为5℃。 2.出水为纯水，进入UV装置。 运行参数：产水水量为230m3/h，出口水压为7.5bar。 迈博瑞生物膜技术南通有限公司 UV装置 1.三组紫外线杀菌装置，每组44根灯管。 2.出水为纯水进入增压泵。 3.运行在恒温5℃环境中。 用途：再次杀灭水中细菌，降低有机物含量。 运行参数：产水量为230m3/h，出水水压7.5bar。 抛光混床（MBP） 1.树脂为一次性，使用完后不需要再生。 2.出水为超纯水，进入超滤装置。 用途：进一步降低水中的阴阳离子含量，提高电导率至18mΩ/cm以上。 运行参数：产水量为190m3/h，出水水压为9bar，回纯水箱10m3/h，水压3bar。