第1章 现代检测系统.ppt

目前．现代检测技术发展的总趋势大体有以下几个方面。 一．不断拓展测量范围，努力提高检测精度和可靠性 　　　随着科学技术的发展，对检测仪器和检测系统的性能要求，尤其是精度、测量范围、可靠性指标的要求愈来愈高。 　　　以温度为例，为满足某些科研实验的需求，不仅要求研制测温下限接近绝对零度(-273．15℃)，且测温量程尽可能达到15K(约-258℃)的高精度超低温检测仪表；同时，某些场合需连续测量液态金属的温度或长时间连续测量2500～3000℃的高温介质温度，目前虽然已能研制和生产出上限超过2800℃的热电偶，但测温范围一旦超过2500℃，其准确度将下降，而且极易氧化从而严重影响其使用寿命与可靠性： 　　　因此．寻找能长时间连续准确检测上限超过2500℃的传感器，是目前各国科技工作者一直努力攻关的课题，可喜的是，目前，非接触式辐射型温度检测仪表的测温上限，理论上最高可达100万度以上，但与聚核反应优化控制理想温度约108℃相比还相差3个数量级，这就说明超高温检测的需求远远高于当前温度检测所能达到的技术水平。 　　　仅十余年前，如果在长度、位移检测中达到微米级(μm)的测量精度，则一定会被大家认为是高精度测量；但随着近几年许多国家大力开展微机电系统、超精细加工等高技术研究，“微米(10-6m)、纳米(10-9m)技术”很快成了人们熟知的词汇，这就意味着科技的发展迫切需要有达到纳米级，甚至更高精度的检测技术和检测系统。 　　　随着自动化程度不断提高，各行各业高效率的生产更依赖于各种检测、控制设备的安全可靠。努力研制在复杂和恶劣测量环境下能满足用户所需精度要求且能长期稳定工作的各种高可靠性检测仪器和检测系统将是检测技术的一个长期发展方向。 二．传感器逐渐向集成化、组合化、数字化方向发展 纵观几十年来的传感器技术领域的发展，不外乎分为两个方面：一是提高与改善现有传感器的技术性能，二是寻找新原理、新工艺、新材料及新功能。 1、改善技术性能： 1）差动技术：可减少温度变化，电源波动，外界干扰对传感器精度的影响，抵消共模误差，减少非线性误差。 2）平均技术：利用若干个传感单元同时感受被测量，其输出则是这些单元的平均值，若将每个单元可能带来的误差δ均可看着随机误差且服从正态分布，根据误差理论，总的误差将减少为： n： 传感单元数 可见，平均技术可减少误差，增大信号量即增大传感灵敏度。 3)补偿与修正技术：一对本身特性，二对工作环境。 例如：温度：恒温补偿，PMD：偏振模色散 4)屏蔽、隔离与干扰抑制： 对电信号：屏蔽、隔离、滤波 对温度：隔热 对湿度：密封 对机械震动：弹簧减震 5)稳定性处理：老化、永磁、热处理 2、寻找新方向: 1）开发新型传感器： 新型传感器应致力于：（1）采用新原理，（2）填补传感器空白，（3）仿生传感器等诸方面，他们之间相互联系。 传感器的工作原理是基于各种效应和定律： 例如： （1）利用核磁共振吸收效应的磁敏传感器，可提高灵敏度10-7 较地磁强度； （2）利用约瑟夫逊效应的热噪声温度传感器，可测10-6K超低温； （ 3）利用光子滞后效应，可做出响应速度极快的红外传感器； （4）利用化学效应和生物效应开发的可供实用的化学传感器和生物传感器，更是有待于开发的新领域。 大自然是生物传感器的优秀设计师和工艺师，它通过漫长的岁月，不仅造就了集多种感官于一身的人类，而且，还造就了许多功能奇异、性能高超的生物感官。 例如： （1）狗的嗅觉：（灵敏度是人的10-6）； （2）鹰的视觉：（视力为人的8～50倍）； （3）蝙蝠、飞蛾、海豚的听觉：（是主动型生物雷达------超声传感器） 这些动物的感官功能，超过了当今传感器的技术范围，研究他们的机理，也是引人注目的方向。 2）开发新材料： （1）半导体敏感材料 （2）陶瓷材料 （3）磁性材料：用于高速电机轴的稀土材料， （4）智能材料：智能材料是指设计和控制材料的物理、化学、机械、电学等参数，研制出生物体材料所具有的特性