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生长温度对磁控溅射ZnO薄膜的结晶特性和光学性能的影响!-物理学报
第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
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生长温度对磁控溅射!# 薄膜的结晶特性
和光学性能的影响!
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孙成伟 刘志文 秦福文 张庆瑜 刘 琨 吴世法
!）（大连理工大学三束材料改性国家重点实验室，大连 !!$%# ）
# ）（大连理工大学物理系，大连 !!$%# ）
（ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿）
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采用反应射频磁控溅射方法，在 （ ）基片上制备了具有高 轴择优取向的 薄膜 利用原子力显微镜、
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透射电子显微镜、射线衍射分析、拉曼光谱等表征技术，研究了沉积温度对 薄膜的表面形貌、晶粒尺度、应力
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状态等结晶性能的影响；通过沉积温度对透射光谱和光致荧光光谱的影响，探讨了,-. 薄膜的结晶特性与光学性
能之间的关系 研究结果显示，在室温至 的范围内， 薄膜的晶粒尺寸随沉积温度的增加而增加，在沉积温
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度为 时达到最大；当沉积温度为 时， 薄膜的晶粒尺度有所减小；在室温至 的范围内，薄膜中
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晶粒与 基体之间均存在着相对固定的外延关系；在沉积温度低于 时，制备的 薄膜处于压应变状
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态，而 时沉积的薄膜表现为张应变状态 沉积温度的不同导致 薄膜的折射率、消光系数、光学禁带宽度以
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及光致荧光特性的变化，沉积温度对紫外光致荧光特性起着决定性的作用/ 此外，探讨了影响薄膜近紫外光致荧光
发射的可能因素/
关键词： 薄膜，表面形貌，微观结构，光学常数
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