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锶掺杂对BaTiO3薄膜粒径与结晶温度的影响-河北师范大学学报
第 34 卷/ 第 3 期/ 河北师范大学学报/ 自然科学版/ Vol . 34 No . 3
20 10 年 5 月 J OURNAL OF HEBEI NORMAL UNIVERSITY/ Natural Science Edition/ May. 20 10
锶掺杂对 Ba TiO3 薄膜粒径与结晶温度的影响
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杨芙丽 , 申玉双 , 郭建晋 , 许新芳 , 伊赞荃 , 翟学良
( 1. 河北化工医药职业技术学院 化学与环境工程系 ,河北 石家庄 050026 ; 2 . 石家庄二十二中学 ,河北 石家庄 05003 1 ;
3 . 河北师范大学 实验中心 ,河北 石家庄 0500 16)
摘 要 :采用溶胶凝胶法制备了钛酸钡和掺锶钛酸钡薄膜 ,结合 D TAT GA ,XRD 和 SPM 等分析手段 ,重点考
察了锶掺杂对薄膜的结晶温度 、粒径和晶胞参数的影响 ,发现随着锶含量的增加 ,Ba 1 - x Sr x TiO3 薄膜中晶体的晶胞
参数逐渐减小 ,且锶的掺入可降低薄膜的结晶温度 、减小粒径和粗糙度.
关键词 :锶 ; 掺杂 ; Ba TiO3 ; 薄膜 ; 结晶温度 ; 粒径 ; 晶胞参数
中图分类号 : TN 384 文献标识码 :A 文章编号 (20 10)
Ba1 - x Sr x TiO3 是一种重要的钙钛矿结构材料 ,它具有优良的压电、铁电、热释电、热敏 、湿敏和光学非线
性等特征 ,还具有高介电常数 、低介电损耗 、居里温度随组成改变以及介电常数随电场的非线形变化等特
[ 1 ,2 ] ( )
点 ,具有广阔的应用前景. 随着薄膜技术的进步 ,人们已经通过脉冲激光沉积 PLD 、射频磁控溅射 、水
( ) ( ) ( ) [3 ]
热合成 、金属有机物分解 MOD 、溶胶凝胶法 Solgel 和金属有机物化学气相沉积 MOCVD 等方法制
备出了具有优良电性能的Ba TiO3 系薄膜.
Solgel 法因与其他方法相比具有诸多优点而被广泛应用 ,如 : 1) 反应在溶液中进行 ,均匀度高 ,对多组
分体系其均匀度可达分子或原子级 ,材料粒度小 、纯度高 、均匀性好 ;2) 烧结温度比传统烧结方法有较大的
降低 ;3) 化学计量比准确且易控制 , 易于改性 ,掺杂量的范围加宽;4) 可以制备溅射法不能得到的特殊薄
膜 ;5) 工艺简单 ,周期短 ,成本低 ,易推广 ,适合大面积 、大规模生产[4 ,5 ] . 但是 ,Solgel 法也有薄膜厚度不易控
制 、容易出现裂纹 、陶瓷膜颗粒较大等不足 ,所以仍然是人们研究的重点. 目前 ,对钛酸钡系薄膜材料的界面
质量和电学性能的研究备受关注 ,但掺杂对钛酸钡薄膜微结构的影响方面的研究却鲜有报道. 本文中 ,笔者
( )
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