氧化锌在交流薄膜电致发光元件中之萤光层的应用-正修科技大学.PDFVIP

下载本文档

2
0
约1.45万字
约 8页
2017-11-10 发布于天津
举报
版权申诉

氧化锌在交流薄膜电致发光元件中之萤光层的应用-正修科技大学.PDF

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

氧化锌在交流薄膜电致发光元件中之萤光层的应用-正修科技大学

氧化鋅在交流薄膜電致發光元件中之螢光層的應用 “The application of zinc oxide in ac-driven thin film electroluminescent device as a phosphor layer＂計畫編號： NSC94-2216-E-230-002 執行期間：94年08月01日至 95年07月31日主持人：蔡有仁正修科技大學電子工程系所副教授一、中文摘要理達到增加綠光發光的目的。本研究計畫主要是利用交流磁控濺鍍法在 Si/SiO 2 基板上成長 ZnO 薄膜，以獲得高品英文摘要質的 ZnO 發光薄膜，主要探討的濺鍍參數包含：濺鍍功率、氧氣濃度、基板溫度和濺鍍壓 In this project, we use RF magnetron 力等；除此之外並探討不同的熱處理ZnO薄膜 sputter to deposit high quality ZnO thin film on 光致發光(photoluminescence，PL)特性的影 Si/SiO2 substrate. The main process 響。所得的結果，除了可以讓我們進一步瞭解 parameters are sputtering power, oxygen ZnO的發光特性之外，亦可從中獲得最佳的ZnO concentration, temperature of substrate and 濺鍍參數，作為後續完整電致發光元件應用的 sputtering pressure. We hope to get the best 基礎。 sputtering condition of ZnO thin film for ac-driven thin film electroluminescent device as 由實驗結果可發現，在濺鍍功率100W、氧 a phosphor layer. 氣濃度 21%、基板溫度 500℃、濺鍍壓力 5mtorr、沈積時間1 小時，所沈積之氧化鋅薄 From the results of our experiments, ZnO 膜