粘附性能-无机材料学报.PDFVIP

’ 第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 、 年 月 一 入 ’ 用 压 痕试验 法研 究 金 刚石膜 的粘 附性 能 匡 同春 刘 正 义 华 南 理 工 大 学 广 州 周 克裕 代 明江 王 德 政 广 州 有 色金 属研 究 院 广 州 卫 摘 要 在 观 察 与分 析压 入 过 程 中 金 刚石 膜 开 裂方 式 的基础 上 , 初 步探 讨 了用 压 痕试验 法 评 定 金 刚石膜粘 附性 能 的可 行性 采 用 反 映膜 基粘 附性 能 的临界开 裂 或 剥落载荷 和 抗裂性参数 尸 两 指标评 定 了硬 质合金基体表 面 经 不 同预 处理方法 和 沉积 工 艺 参数 合成 的 、 、 金 刚石膜 的粘 附性 能 , 研 究 了粘 附性 能 指 标 与沉积 工 艺 参数 如 甲烷 浓 度 沉积 气 压 沉 积 功 率 之 间的关 系 适 当 的表 面 预 处 理 、 适 中的 甲烷 浓 度 、 较 低 的沉积 气压 、 较 高 的沉 积 功率 均 有 利 于 改善金 刚石膜 的粘 附性 能 关 键 词 压 痕试 验法 , 金 刚石 膜 , 粘 附性 能