TiO2膜层制备参数对Ag%2fTiO2复合膜隔热性能的影响.pdfVIP

03 包 装 学 报 PACKAGING JOURNAL 2017年 第9卷 第3期 VOL.9 No.3 May 2017 TiO 膜层制备参数对Ag/TiO 复合膜隔热性能的影响2 2 doi:10.3969/j .issn.1674-7 100.20 17.03.003 丁泽良 杨益辉 摘 要：采用磁控溅射工艺制备玻璃基Ag/TiO2 复合膜，研究TiO2 膜的射频 张诗淼 王双雄 功率、溅射时间、氩气流量和本底真空度4 个制备参数对复合膜隔热性能的 湖南工业大学 影响。结果表明：复合膜的隔热温差随着射频功率、溅射时间、氩气流量、 机械工程学院 本底真空度的增加均呈现先增大后减少的变化趋势；4 个制备参数对复合膜 湖南 株洲 4 12007 隔热温差的影响程度由大到小的顺序依次为本底真空度、溅射时间、射频功 率、氩气流量；4 个制备参数的较优组合为本底真空度4 ×10-3 Pa ，射频功 率 150 W ，溅射时间15 min ，氩气流量20 mL/min 。 关键词：Ag/TiO2 膜；磁控溅射；隔热性能；制备参数 中图分类号：O484 文献标志码：A 文章编号：1674-7 100(20 17)03-0025-06 0 引言 隔热性能 的影 响 ，为进一步优化制备参数提供理论 参考 。 透光 隔热膜通过选择性 隔离太 阳光辐射来实现 采光与隔热之 间的平衡 ，即在满足 国际规定 的可见 1 实验 光平均透过率前提下 ，尽可能多地 阻隔红外光和紫 - 外光 [1 2] 。然而单层材料膜很难满足这一要求 ，因此 ， 1.1 材料 近年来科研工作者致力于复合膜的研究和开发 ，以求 基底材料采用普通玻璃 ，厚度为 5 mm ，湖南株 解决这一 问题 。Ag/TiO2 复合膜作为一种典型的金属 洲祥华玻璃厂生产 ；Ag 靶材和 TiO2 靶材 ，规格均为 / 电介质 （M/D ）双层膜 ，兼具 Ag 膜 的光谱选择性 Φ75 mm ×4 mm ，纯度 为 99.99% ，北京 中诺新材料 和 TiO2 膜 的增透性 [3-4] ，能克服金属 Ag 膜容易氧化 科技有 限公 司生产 ；氩气 Ar ，体积分数为 99.99% ， 失效的缺陷 ，还能通过改变膜层 的制备参数实现透光 株洲九方气体公司生产 ；无水乙醇 ，天津市大茂化工 与隔热之间的平衡 。 试剂厂生产 ；丙酮 ，广东三飞试剂厂生产 。 目前 ，国内外学者对 Ag/TiO2 复合膜 的研究主要 1.2 仪器 集 中在薄膜 的透光率 、电阻性能、光催化 、 自清洁 JCP-450 型磁控溅射镀膜机 ，北京泰科诺科技有 和杀菌等方面 [5- 13] ，而对其隔热性能的研究鲜有报道 。 限公司生产 ；KQ2200DE 型超声波清洗机 ，昆山市超 本文拟采用磁控溅射工艺 [14-16] ，在玻璃基体上制备 声仪器有 限公司生产 ；ZKT-6050 型真空干燥箱 ，上 Ag/TiO2 复合膜 ，在 Ag 膜制备参数不变 的前提下 ， 海和呈仪器制造责任有 限公 司生产 ；QUANTA FEG 改变制备 TiO 膜 的4 个参数 ，即射频功率 、溅射时间、 250 场发射扫描 电镜 ，荷兰飞利浦公 司生产 ；RC-4 2 氩气 流量 、本底 真空度 ，探讨 其对 Ag/TiO2 复合膜