在双热舟化学气相沉积系统中通过掺In技术生长GaN纳米-物理学报.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 %$ 9 ’’% 9 ， ， ， MN; *%$ 4N *9 -DAOD:?DP ’’% （ ） !’’’0#9’1’’%1%$ ’9 1$#90’% H/IH JKL-+/H -+4+/H !’’% /@., * J@BQ * -NE * 在双热舟化学气相沉积系统中通过掺 技术 ! 生长#$% 纳米线和纳米锥! ） ）） ）） ） ） ）） ! ! ! # $ % ! 刘仕锋 秦国刚 尤力平 张纪才 傅竹西 戴 伦 !）（北京大学物理学院，北京 !’’()!） ）（人工微结构和介观物理国家重点实验室，北京 !’’()!） # ）（北京大学电子显微镜实验室，北京 !’’()!） $ ）（中国科学院半导体研究所，北京 !’’’(# ） % ）（中国科学技术大学物理系，合肥 #’’) ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） ’’% ! !$ ’’% ! 在现有的一台蒸发镀膜机基础上，设计加工了一个双热舟化学气相沉积系统 该系统具有真空度高、升温速度 * 快、源和衬底温度可分别控制等优点，有利于化合物半导体纳米材料的生长* 利用该生长系统，通过在生长过程中 掺入等电子杂质 作为表面活性剂，分别在 衬底和 衬底上生长出高质量的具有纤锌矿结构的单晶 +, -. #/0-./1 -. 纳米线和纳米尖三棱锥 所得产物通过场发射扫描电子显微镜、高分辨透射电子显微镜、能量色散 射线谱仪、 234 * 5 射线衍射仪，和荧光谱仪进行表征 这里所用的生长方法新颖，生长出的 纳米尖三棱锥在场发射和激光方面 5 * 234 有潜在的应用价值* 关键词： ，纳米结构，透射电子显微镜，光致荧光谱 234 ： ， ， ， ’(( )(’6 7!$7 7!)’8 )(%