传感器第五章电容传感器.ppt

电容传感器的设计原则 尽可能减小d0； 选择介电常数大的绝缘介质； 选择具有相应线膨胀系数材料作电极； 选择较高的电源电压、频率，且传感器允许工作电压随频率的提高而降低； 消除电缆电容的影响； 则：输出电流的平均值： 输出电压的平均值： 略去了指数项 讨论 （1）当 灵敏度最大； （2）电路灵敏度与电源频率有关，故要求电源频率稳定； （3）输出电压较高； （4）输出阻抗与R1,R2同等数量级，且与C1，C2无关； （5）输出信号的相应（上升时间）与负载电阻有关。 （当负载电阻＝1k时，相应时间＝20uS。所以可以测量高速机械运动） 优点：电路结构简单，可直接得到高电平的直流电压或电 流，灵敏度高，频响50KHZ，适宜动态测试。 缺点：对电源要求高，不仅稳压，还要求稳频。 四，差动脉冲调宽电路 工作电路分析：图5-20与图5-21 （2）当C1≠C2时，若C1C2,则充放电时间常数T1T2。如图5-21b)，UAB为不等宽矩形波，平均输出电压UAB≠0，经低通滤波后，可输出直流电压。 （1）当C1=C2时，如图5-21a),则T1=T2，UAB为等宽波。输出平均电压UAB=0 ① UAP，UBP───分别为A，B点平均电压 U1───比较器输出高电位 由图5-20阻容充放电过程为： ② * * 第五章　电容式传感器 §5-1工作原理及结构 当忽略电容器的边缘效应时，平板电容器的电容量为： 式中 A－电容器的极板面积； d－极板间的距离； ε0－真空介电常数， ε0 =8.85×10-12F.m-1 εr －极板间介质的相对介电常数； ε－介电常数， ε = ε0 εr 。 结构图 a),b),c)为变间隙式 d),e),f)为变面积式 g),h)为变介电常数式 则 c-d即为双曲线,如上图ｂ §5-2静态特性 一、变间隙式 (一)空气介质的变间隙电容式传感器 或： 略去高次项得： 灵敏度： 如果考虑二次项，则： 相对非线性误差δ为： 差动式结构： 初始： 测量时： 差接： 当Δd / d01时，略去高次项，则： 传感器的灵敏度K’为 差动传感器的相对非线性误差δ’ 近似为： 结论 非线性误差大大减小； 灵敏度提高了一倍； 减小了静电引力影响。 差动式电容传感器 初始电容C为： 式中εr2为固体介质的相对介电常数 (二)具有固体介质的变间隙电容式传感器 减小极间距离d 可以提高灵敏度，但是d过小容易引起击穿或短路。为此，一般在极板间放置云母、塑料膜或其它介电常数 高的物质来改善这种情况。 推导 物质的相对介电常数 测量时，极板距离减小, 电容增加： 可得： 式中： 略去高次项可得到近似的关系式： N1称为灵敏度因子，又是非线性因子。 传感器的灵敏度K’为 得到，传感器的非线性误差δ为： 由： 讨论 1、 2、当 ，相当于两个极板间全部为空气隙，则N1=1； 3、 灵敏度因子 例题1 当差动式变极距型电容传感器动极板相对于定极板移动了 △d=0.75mm时,若初始电容量C1=C2= 80pF,初始距离d =4mm, 试计算其非线性误差;若改为单平板电容，初始值不变，其非线性误差为多大？ 解： 差动传感器的相对非线性误差δ’ 近似为： 若改为单平板电容，则非线性误差为： 例题2 已知圆盘形电容板直径D = 50mm，极板间距 d0= 0.2mm，在电极间置一块厚 dg= 0.1mm的云母片，其相对介电常数εr1= 7。 求无、有云母片两种情况下电容值、各为多大？ 当间距变化 △d = 0.025mm时，电容相对变化量与各为多大？ 解： （1）当无云母片时，电容值为： 当有云母片时，相当于两个电容串联，电容值为： （2）根据上面所给电容量的表达式可得，当间距减小△d = 0.025mm时,且无云母片时，电容相对变化量为： 当间距减少 △d = 0.025mm时，且有云母片时，电容相对变化量为： 二、变面积式 原理：通过两个极板相互遮盖的面积的大小，来得到电容的变化。 特点：电容量变化范围大，适合测量较大的线位移和角位移。 输出特性： 灵敏度： 讨论 1、输出为线性关系，灵敏度＝常数。 2、b ↑ ，或d ↓ ，→ 灵敏度K↑ 三、变介电常数式 如果固体介质的相对介电常数εr增加了 ，则电容也增加了 式中： 如图所示，初始电容： d 被测介质 则： 讨论 1、 均与间隙比 有关，间隙比越大，则N2越大，N3越小，