微机电概论-中原大学微系统与控制研究室.PDFVIP

真空概論 • 何謂真空？ • 真空等級 任何比大氣環境存在較少氣體 – 粗真空(Rough Vacuum ) 之空間。 微機電概論 760 ~ 1 torr • 如何產生真空？ – 中真空 (Medium Vacuum ) 從一個固定容器內移走空氣或 -3 1 ~ 10 torr Unit 5:矽基製程技術 其他氣體。 – 高真空 (High Vacuum ) • 何謂壓力？ -3 ~ 10-7 torr 10 單位面積所承受之垂直力。 – 超高真空 (Ultra-High – 標準大氣壓 Vacuum ) 中原大學機械工程學系 – 半導體工業上以Torr為壓力量 -7