微电铸及其在MEMS中的应用-厦门大学学报自然科学版.PDFVIP

44 厦门大学学报( 自然科学版) Vol. 44 Sup. 2005 6 Journal of Xiamen University (Natural Science) Jun. 2005 M MS 吕文龙, 陈义华, 孙道恒* ( , 361005) : M MS , Watts . Ti-Cu . , , . , M MS . : ; ; ; : TQ 153. 4 :A :0438-0479(2005) Sup-0316-03 (M MS) , . , ; , , , SiO2 . , , 3 4 , , Si N . . , , 5 Lm , , [ 2] . . LIGA ( X - Helmholtz ) LIGA , . , , , ; , . . , 1.2 (P P) H elmholtz . , ( , , Ton) , , T on . , ; .( T off ) , LPCVDPSG , [ 1] . , ., 3 : 1) 1 ; 2) 1. 1 , ; 3) . , . , ., , : 2005-04-10 , . , : ( A0110003) ( 2002H022) : ( 1980- ) , , . ., * : sundh@jing xian. xmu. edu. cn . : , , : M MS # 317 # , ; , 2.3 (Watts ) T off , ,