金属有机源化学气相沉积法生长氧化锌薄膜中氢气的作用及-物理学报.PDFVIP

物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 63, No. 11 (2014) 118103 金属有机源化学气相沉积法生长氧化锌薄膜中 氢气的作用及其机理 朱顺明 顾然 黄时敏 姚峥嵘 张阳 陈斌 毛昊源 顾书林 叶建东 郑有炓 (南京大学电子科学与工程学院, 南京 210046) ( 2013 年12 月18 日收到; 2014 年2 月23 日收到修改稿) 本文重点探讨了金属有机源化学气相沉积生长ZnO 薄膜中氢气的作用与机理. 研究表明氢气对ZnO 薄 膜的结构与性质具有重要的影响. 当采用叔丁醇为氧源时, 氢气对ZnO 薄膜的晶体质量, 表面结构和发光性 质主要产生负面的影响, 同时发现氢气的加入有助于抑制碳的沾污. 而当采用笑气为氧源时, 测量显示表面 变光滑, 晶体质量得到提高, 发光强度也得到提升. 氢气在笑气作为氧源生长ZnO 的过程中基本起到了正面 的作用. 论文最后从氢气降低生长表面能量, 提高表面原子迁移能力但存在表面腐蚀作用的方向以上结果给 予了较好的