准分子激光的光束波面测量技术Ξ-强激光与粒子束.PDFVIP

　第 16 卷 　第 5 期 强 激 光 与 粒 子 束 Vol. 16 ,No. 5 　 　2004 年 5 月 HIGH POWER LASER AND PARTICL E BEAMS May ,2004 　 文章编号 : (2004) 准分子激光的光束波面测量技术 1 ,2 1 1 1 ,2 1 叶震寰 , 　董景星 , 　魏运荣 , 　李红霞 , 　楼祺洪 ( 1. 中国科学院 上海光学精密机械研究所, 上海 201800 ; 2 . 中国科学院 研究生院, 北京 100039) 　　摘 　要 : 　准分子激光在激光光刻和微细加工中有广泛的应用 ,要求激光具有好的稳定性和光束波面均匀 性。介绍了准分子激光的波面特性以及波面分析测量技术。用波面分析仪对 XeCl 和 ArF 激光特性进行全面 的测量和评估 ,给出了主要参数的测量结果 ,重点分析了光束均匀性。 　　关键词 : 　准分子激光 ; 　光束测量 ; 　波面分析技术 　　中图分类号 : 　TN248. 2 　　　　文献标识码 : 　A ( ) ( ) ( 　　准分子激光器由于其波长短 157～351nm 、相干性差 谱线带宽在 1nm 以上 和短脉冲特性 常用脉宽 10 ～30ns) ,成为当前光刻装置的主要光源。此外准分子激光对聚合物有着极佳的刻蚀性能 ,刻蚀阈值仅数十 mJ / cm2 ,可以进行较大面积的刻蚀。因此准分子激光在刻蚀聚合物制作微结构以及其它应用中[1 ] 有着广泛的 应用 ,在一定程度上取代常用的离子束或反应离子刻蚀[2 ] 。 ( ) 　　激光微加工要求激光光束具有很好的稳定性和均匀性。准分子激光光束的能量分布 或波面 不同于普通 ( ) ( ) ( 的单模高斯分布 ,光斑通常呈矩形 ,纵横方向的宽度比例一般为 1 ∶3 ArF 和 2 ∶3 XeCl ,甚至更小 跟放电结 ) 构有关 。由于准分子激光特有的高增益以及准分子激光器通常在大体积、高电压、高气压状态下运转,容易导 致放电增益不均匀 ;而且工作气体配比改变 ,在输出脉冲能量变化的同时 ,也影响光束截面的强度分布[3 ] 。此 外 , 卤素气体具有强的腐蚀性,容易造成光学元件的污染 ,也是影响光束均匀的重要原因。因此有必要对准分 子激光的波面特性进行很好的分析和控制。在实际应用中采取了各种办法来改善准分子激光器运转的稳定 性 ,并利用各种均匀器来改善光束的均匀性[4～6 ] 等等。采取合适的测量手段是非常必要的。 1 　准分子激光波面特性 　　准分子激光的波面特性与工作气体有很大的关系 ,随着工作时间的推移 ,光束的波面分布会有所变化。以 ( ( ) ) 正确比份充气的典型