方法开发报告ICP-MS测定氨气吸收液中的杂质元素.PDFVIP

The world leader in serving science 方法开发报告 ICP-MS 测定氨气吸收液中的杂质元素 赛默飞世尔科技痕量元素分析应用中心 检测项目 Be 、B 、Na 、Mg 、K 、Ca、Fe 、As 、Mn 、Fe 、Cr、Co 等 仪器 iCAP Qc 高纯硝酸（Trace Metal Grade, Fisher Scientific ）； 试剂及标准品 IV-ICPMS-71A 10 μg/mL （Inorganic Venture ） 工作曲线溶液 采用进口物质水溶液，做标准工作曲线，计算样品中元素含量； 样品前处理方 样品直接用去离子水稀释50倍上机测定 法 Parameter Value Parameter Value Analyzer Pressure 1.00E-06 Plasma Power 1550(550) Readback (mbar) (W) Spray Chamber 2 Auxilliary Flow 0.79 仪器参数 （代表 Temperature (°C) (L/min) Cool Plasma 参 Cool Flow (L/min) 14 Nebulizer Flow 1.06 数） (L/min) Peristaltic Pump Speed 25 Torch Vertical -0.9 (rpm) Position Q Cell gas (mL/min) H 4.0(0) KED 3v(1) e Be9 、B11 、24Mg 、39K、44Ca 、48Ti 、52Cr、55Mn、56Fe、60Ni、 质量数选择 63Cu、66Zn、75As、88Sr、111Cd、137Ba、208Pb 分析者 王艳萍 分析时间 2013-09-12 至 15 The world leader in serving science 一、 背景介绍 高纯氨气的应用领域 LED 领域，为蓝绿光 GaN LEDs 外延工艺（MOCVD）中生成氮 化镓基层提供氮的来源。MOCVD 是 LED 产业发展的关键支撑，也是氨气应用的主要工艺。 在蓝绿光 GaN LEDs 外延工艺（MOCVD）中要生成氮化镓基层，需要大量高纯氨气来提供 氮的来源。纯度要求在 7N （99.99999% ）以上。 另外一个应用领域光伏太阳能，硅片清洗、在 CVD 过程中生产氮化硅薄膜。太阳能作 为一种清洁、高效的可再生能源，能广泛应用于家庭发电系统和大型商业光伏项目等诸多领 域。高纯氨气为在在 CVD 过程中生产氮化硅薄膜提供氮源，是光伏太阳能行业必不可少的 重要电子气体。 目前世界上很多的半导体生产都在中国大陆本土，相对应的一些半导体产业的下游企 业，生产高纯氨气供应给上游企业。重金属含量是是其中的一个重要指标。一般测定主要是 把氨气通过去离子水吸附，测定吸附后去离子水中的重金属。由于要求氨气纯度很高，而且 氨气不能够无限被去离子水吸附。去离子水吸附氨气最高浓度 20%，所以对测量仪器具有 很高的灵敏度