行业标准钒蒸发料编制说明.DOCVIP

钒蒸发料 编制说明 （审定稿） 2015年8月18日 钒蒸发料编制说明 1、工作简况 1.1任务来源 近年来，钒蒸发料作为一种重要的根据工业和信息化部2014-1486T-YS，技术归口单位为全国有色金属标准化技术委员会 有研亿金新材料有限公司接到标准制定任务后，根据任务落实会的会议精神，组建钒蒸发料标准起草小组，主要进行如下工作： （1）确立《钒蒸发料》行业标准起草遵循的基本原则； （2）申报起草该报告的立项报告； （3）对供应商、客户纯度要求进行调研、收集资料； （4）查阅相关标准； （5）确定主要技术内容； （6）确定仲裁分析方法； 1.2 起草单位 有研亿金新材料有限公司简称，。拥有30多年专业从事稀有和贵金属材料研究、开发和生产经验，获得并积累了一大批国家和部级科研成果，培养造就了大批科研、生产人才。有研亿金历年承担国家军工配套项目和军工新产品试制项目近百项，获部级奖56项，国家专利38项，国家科技进步奖3项，国家发明奖9项，全国科学大会奖2项，国家科技进步奖特等奖子项奖1项。 本标准主管部门为中国有色金属工业协会有研亿金新材料有限公司 有研亿金新材料股份有限公司接到标准制定任务后，组织起草检索国内外有关技术标准和资料，相关生产企业，~3月27日由中国有色金属工业标准计量质量研究所主持，在江苏省无锡市召开有色金属标准工作会议与会专家对标准的讨论稿进行了认真、热烈的讨论，~5月28日，在河南省洛阳市对标准进行预审，此次会议，共有10个单位12名代表参加了会议。会议对标准的内容再次进行讨论，并提出相关意见和建议，起草人根据各方意见，进行研讨修改，并形成了送审稿，提交审定会讨论。 2 编制原则和依据 本标准起草单位自接受起草任务后，本标准编制组收集了生产国内外客户要求、国内厂家实际生产水平等信息，初步确定了《钒蒸发料》标准起草所遵循的基本原则和编制依据： 1）查阅相关标准和国内外客户的相关技术要求； 2）根据国内外钒蒸发料使用企业具体情况，力求做到标准的合理性与实用性； 3）广泛适用，操作可行的原则； 4）有利于创新发展与国际接轨的原则。 编制本标准既考虑到国内外众多客户要求，又考虑到国情力求使材料规范与国外先进材料接轨，使本规范具有广泛的适用性和可操作性。 3 主要内容的分析综述 3.1主要内容与适用范围 本标准规定了钒蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同（或订货单）内容。 本标准适用于半导体行业用的各类钒蒸发料。 3.2规范性引用文件 本标准针对客户对钒蒸发料要求编写。要求包括：原材料纯度、表面质量、内部质量、尺寸和外观等等方面。引用了推荐性国家标准1项，行业标准1项。 3.3 技术要求 3.3.1 产品分类 综合目前半导体行业用的钒蒸发料市场上所有产品可以按照以下形式分类： 钒蒸发料产品按照纯度分为 IC9.9、IC –9.95 两种 钒蒸发料产品主要分为片状和柱状两种。 3.3.2成分要求 由于集成电路的集成度越来越高，互联线宽度不断减小，因此对提出非常严格的要求，纯度直接影响着电子薄膜性能。电子薄膜用分类按照应用纯度主要为99.9%、99.9%两种。牌号 （质量分数）/% 杂质含量 /，≤ Al B Cr Fe Mo Nb Ni IC-V 99.9 99.9 0.02 0.001 0.002 0.01 0.01 0.01 0.002 IC-V 99.95 99.95 0.008 0.001 0.002 0.01 0.005 0.005 0.001 牌号 （质量分数）/% 杂质含量 /，≤ Si Sn Ta Ti W Zr IC-V 99.9 99.9 0.04 0.005 0.005 0.001 0.002 0.001 IC-V 99.95 99.95 0.025 0.005 0.005 0.001 0.002 0.001 注1：钒蒸发料的纯度，按照减量法计算 3.3.3 尺寸及允许偏差 钒蒸发料的尺寸及偏差应符合客户的技术要求。常规用量最多的几种规格钒蒸发料产品尺寸及允许偏差如下表所示： 表2 钒蒸发料规格 项目 片状 柱状 A B C D L 尺寸/mm 10 10 2 3 6 15 15 2 6 6 允许偏差/mm ±0.5 ±0.5 ±0.2 ±0.2 ±0.5 注：经双方协商，可提供其他规格及允许偏差的钒蒸发料。 3.3.4外观质量 钒蒸发料产品表面应光亮平整、洁净，边角完整，无飞边、无毛刺、无夹杂、无裂纹等缺陷。钒蒸发料产品表面应清洁、无油污和锈蚀；应无颗粒附加物和其他沾污。钒蒸发料产品端面或表面允许有轻微的冲、剪、裁等痕迹或在允许偏差范围内的凹坑和划痕。 3.3.5 包装 钒蒸发料内包装