近红外二极管激光气体光学传感器发展现状及其应用.PDFVIP

维普资讯 第 22卷 第 4期 量 子 电 子 学 报 、 1．22NO．4 2005年 8月 CHINESEJOURNALOFQUANTUM ELECTRONICS Aug．2005 文章编号： 1007—5461(2005)04—0585—07 近红外二极管激光气体光学传感器发展现状及其应用 高晓明， 李晓云， 黄 伟， 樊 宏， 王 霞， 张为俊 f中国科学院安徽光学精密机械研究所环境光谱学实验室， 安徽 合肥 230031) 摘 要 ： 介绍了以近红外二极管激光吸收光谱为基础的气体光学传感器的测量原理以及二极管激光光学传感 技术在垃圾焚烧炉实时监控、气体管道泄漏检测、汽车尾气排放等方面应用的最新进展，并对二极管激光光学 传感的发展趋势进行 了展望 。 关键 词 ： 激光技术；近红外；二极管激光；气体传感 中 图分 类 号 ：TN249 文 献 标 识 码 ：A 1 引 言 以激光为基础的分析仪器已经掀起了分析化学的革命，而近红外光谱技术极大地促进了分析效率的进 步 I1]。研究人员一直努力地把近红外激光光谱技术广泛地应用到工业传感和化学分析等领域。随着光学通 信二极管激光制造技术的快速发展，III—V族半导体材料，红光和近红外波长 O．63—2．0mm发光的室温二 极管激光器为气体传感带来了新的契机。二极管激光器具有体积小、寿命长和高的电光转换效率、快调谐 性和高光谱分辨率等优点，以近红外二极管激光为基础的光谱分析方法和仪器 已成为当前研究的热点。与 传统的电化学和质谱方法相比，近红外二极管激光探测具有体积小、非侵入、低功耗和高速等优点，在未 来的发展中具有广阔的应用前景和巨大的市场潜力，可广泛应用于化工厂周边环境污染监测、汽车尾气、 烟道、垃圾焚烧实时监控、火灾预警、等离子刻蚀过程监控、温室气体测量、航空发动机燃烧过程监控等 许多领域 [2~12]。 在室温近红外二极管激光器出现之前，中红外二极管激光器主要被用作大气痕量气体探测、燃烧诊断 以及分子光谱参数的确定等科学研究 [13~15] 分子的基态吸收具有较大的吸收截面，3,-~30 光谱区铅盐 二极管激光器虽然具有较高的探测灵敏度，但其本身及探测器都需要在液氮温度下运行，使得设备既昂贵， 而且笨重，因此它的应用范围受到了极大的限制。近年来近红外光谱分析技术得到了快速 的发展，特别是 简单分子的近红外二极管激光光学传感技术由于它的体积小、价格低和灵敏度能够满足_[业应用的要求等 特点而受到关注，这些分子的泛频和复合带位于近红外波段，具有分离的特征谱线，虽然与中红外波段相 比吸收要弱一到几个数量级，但探测灵敏度可以达到ppm浓度，有的分子可以达到 ppb量级 (见表 1)。 2 近红外二极管气体传感测量原理 2．1可调谐二极管激光吸收原理 一 束强度为 、频率为 的入射光通过待测样品后强度变化满足 Lambert—Beer定律 _l6] ()= ／oexp(一NaL)， f1) 基金项 目：安徽省自然科学基金和 国家高技术发展计划激光技术领域资助 收稿 日期 ：2004—0602； 修改日期 ：2004—06 16 E-m aih xmgao~aiofm ．ac．cn 维普资讯 586 量 子 电 子 学 报 22卷 表 1 近红外二极管激光高灵敏度探测污染气体参数表 Gas W avelength LinestrengthS