MEMES触觉传感器课程设计报告PPT第二部分.ppt

Main Heading Goes hereSub-heading goes here 三、传感单元的结构设计和参数仿真优化 三、传感单元的结构设计和参数仿真优化 3.1 敏感梁结构的优化仿真 梁是最重要的部件。 对于梁结构的仿真实验。 首先需要通过理论给出传感单元梁结构尺寸的大概范围，在此范围内对尺寸进行相应改变，研究其影响机理并最终优化结构参数。 1.传感单元敏感梁厚度的仿真实验 2.传感单元敏感梁长度的仿真实验 3.传感单元敏感梁宽度的仿真实验 三、传感单元的结构设计和参数仿真优化 3.1 敏感梁结构的优化仿真 1.传感单元敏感梁厚度的仿真实验 图3.1 梁厚度对应力检测灵敏度的影响 Fig 3.1 The inflection of the beam’s thick to the sensitivity of the stress detection 根据公式(2.3)和(2.6)利用MATLAB仿真 得到如右曲线 随着梁的厚度的增加，不同负载方向的应力检测灵敏度的差值会越来越大，检测灵敏度也会不停增加，但测量范围也会越来越小。 考虑到轴向和横向的检测灵敏度应该尽可能的接近，以及对梁结构负载能力的要求，在梁的厚度应为 0.01mm~0.04mm 范围内。 三、传感单元的结构设计和参数仿真优化 3.1 敏感梁结构的优化仿真 1.传感单元敏感梁厚度的仿真实验 表3-1 梁厚度对应力的影响 Table 3-1 The inflection of beam’s thick to the stress distribution 在该厚度范围内提取三种情况进行有限元分析，分别施加轴向和横向均为1N的作用力。 当梁的厚度减少到 10μm 的时候，表面应力的变化呈非常不规则的状态，尤其是靠外侧的部分，应力曲线的线性和平滑度都较差。 当梁的厚度增加到 40μm 的时候，应力曲线的线性和平滑度虽然都比较好，但是与梁的厚度为25μm情况相比，应力曲线的线性和平滑度已经开始变差。 轴向负载 横向负载 厚度 0.01mm 厚度 0.025mm 厚度 0.04mm 三、传感单元的结构设计和参数仿真优化 3.1 敏感梁结构的优化仿真 2.传感单元敏感梁长度的仿真实验 图 3.2 梁的长度对应力检测灵敏度的影响 Fig 3.2 The inflection of the beam’s length to the sensitivity of the stress detection 根据公式(2.3)和(2.6)利用MATLAB仿真 得到如右曲线 当梁的长度较短时，传感单元轴向和横向检测灵敏度的差异非常大，这与设计要求相悖，而且，应力检测的分辨力过高，使得传感单元的检测范围非常小。所以，选定的梁长度仿真区域为 0.5mm~1mm 之间。 三、传感单元的结构设计和参数仿真优化 3.1 敏感梁结构的优化仿真 2.传感单元敏感梁长度的仿真实验 表3-2 梁长度对应力分布的影响 Table 3-2 The inflection of beam’s length to the stress distribution 在该厚度范围内提取三种情况进行有限元分析，分别施加轴向和横向均为1N的作用力。 减小梁长会造成结构超定，使应力曲线在端部有跳变,同时，过短的梁宽也会给压阻和引线的排布造成比较大的困难 。 增加梁的长度虽然会增加量程，但会导致应力分布的线性度和平滑度变差，影响传感单元结构的稳定性，造成应力分布的不均匀 。 轴向负载 横向负载 长度0.5mm 长度0.75mm 长度1mm 三、传感单元的结构设计和参数仿真优化 3.1 敏感梁结构的优化仿真 3.传感单元敏感梁宽度的仿真实验 表3-3 梁宽度对应力分布的影响 Table 3-3 The inflection of beam’s width to the stress distribution 根据公式(2.3)和(2.6)所示的应力检测灵敏度公式，发现梁的宽度对传感单元检测值没有影响，但是考虑到梁的宽度与梁其他结构尺寸之间的比例关系会影响到传感单元应力分布曲线的线性和平滑度，所以同样通过有限元的方法研究了梁宽度对传感单元性能的影响。 减小梁宽可以使应力曲线获得较好的线性，但是，使得应力急剧增大，降低了结构的负载能力，而且针对加工工艺的限制，需要保证引线、压阻、梁边缘之间的宽度间隔 梁宽过大，会造成整个结构的超定，导致表面应力的变化呈非常不规则的状态，既不利于压阻检测，也很容易造成梁的断裂。 轴向负载 横向负载 梁宽 0.7mm 梁宽 0.1mm 梁宽 0.4mm 结论 综合上述对应力分布曲线的线性平滑度分析，在标准尺寸基础上，可以适当增加梁的厚度，减