Fe掺杂对ZnO薄膜的微结构与光学性质的影响.PDFVIP

2008年 　　12月 郑 州 大 学 学 报 ( 工 学 版 ) D ec　2008 第 29卷 　第 4 期 Journal of Zhengzhou U n iversity ( Engineering Science) Vo l29　No4 　　文章编号 : 167 1 - 6833 (2008) 04 - 0033 - 05 Fe掺杂对 ZnO 薄膜的微结构与光学性质的影响 徐林华 , 李相银 , 袁 　俊 (南京理工大学 应用物理系 ,江苏 南京 2 10094) 摘 　要 : 采用溶胶 —凝胶法在石英玻璃衬底上制备了 Fe掺杂的 ZnO 薄膜 ,研究了不同的 Fe掺杂浓度 对 ZnO 薄膜的微结构与光学性质的影响. 利用 X 射线衍射分析了薄膜样品的晶向和晶相 ,利用原子力 显微镜观测了薄膜样品的表面形貌 ,利用双光束紫外 —可见分光光度计分析了 ZnO 薄膜样品的光学性 质. 实验结果表明:所有 ZnO 薄膜样品都是六角纤锌矿结构 , ZnO 晶粒沿 C轴择优生长. 质量分数为 1% Fe掺入之后 , ZnO 薄膜的 C轴择优取向进一步增强 ,薄膜的晶化质量也得到进一步提高. 当 Fe 的掺杂 ( ) x + ( ) 2 + 浓度高于 1%时 , ZnO 薄膜 002 衍射峰的强度又降低了 ,这可能是由于 Fe x = 2 或 3 和 Zn 具有不 n x + 2 + 同的离子半径 ,大量的 Fe 进入晶格取代 Zn 导致晶格严重畸变 ,从而影响了 ZnO 晶粒的正常生长. 所 c 制备的 ZnO 薄膜在可见光区都具有高的透射率 , 由吸收边估算出来的 ZnO 薄膜的光学带隙表明: 随着 . Fe 的掺杂浓度的提高 ,光学带隙逐渐展宽. 关键词 : ZnO 薄膜 ;溶胶 —凝胶法 ;微结构 ;光学性质 中图分类号 : TN 204. 2 + 1　　　文献标识码 : A m o 而倍受青睐. 特别是对于制备掺杂的 ZnO 薄膜 , c 0　引言 . 由于溶胶 —凝胶法是一种液相法 ,它能精确地控 ZnO 属于 Ⅱ- Ⅵ族化合物半导体 ,是一种重 制掺杂剂量 ,所制备出来的 ZnO 薄膜中掺杂原子 m 要的直接带宽禁带材料. 它具有 良好的化学稳定 的分布也非常均匀 , 因此它成为制备掺杂的 ZnO 性和热学稳定性. 在室温下 , ZnO 的禁带宽度为 薄膜的一种非常重要的方法. 笔者利用溶胶 —凝 p 3. 37 eV ,激子束缚能高达 60 m eV. 很多研究结果 胶法在石英玻璃衬底上制备了 Fe 掺杂 ZnO 薄 s 表明: ZnO 具有很强的激子发射性能 ,因此它成为 膜 ,研究了不同的 Fe 掺杂浓度对 ZnO 薄膜的结