上海光源真空紫外角分辨光电子能谱束线设计.PDF

第 卷 第 期 光学 精密工程 １５ １２ 　 Ｖｏｌ．１５ Ｎｏ．１２ 　 　 　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　 　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００７ １２ Ｄｅｃ．２００７ 　 　 　　 （ ） 犃狉狋犻犮犾犲犐犇 １００４９２４Ｘ２００７１２１８４４０６ 　 上海光源真空紫外角分辨光电子能谱束线设计 马德伟，乔 山，张新夷，封东来 　 （复旦大学 物理系 应用表面物理国家重点实验室，上海 ２００４３３） 摘要：在上海光源上设计了一条光子能量覆盖 ５ １４０ｅＶ的高通量、高分辨的真空紫外角分辨光电子能谱束线。本光束 ～ 线采用准周期椭圆偏振波荡器光源，其周期长度为 ，周期数为 。单色仪采用 型，分为覆盖 的 ０．３２ｍ １４ Ｄｒａｏｎ ５ ３２ｅＶ ｇ ～ 低能分支和 的高能分支。计算表明，当入射／出射狭缝开启宽度为 ／ 时，在整个能量扫描范围内，单色 ２５ １４０ｅＶ ５５ ｍ ～ μ 仪分辨率可以高达 ，光学元件的面型误差对分辨率的影响最大。通量计算显示，样品处 偏振光子通量 １５０００ １０００００ ｓ ～ 高达 １２ ／。 追迹模拟结果表明，设计的光束线具有很好的聚焦特性。 ～１０ ｈｓｓ Ｓｈａｄｏｗ ｐ 关 键 词：光束线设计；真空紫外；高分辨；高通量 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： Ｏ６５７．６２ＴＨ８３８．３ Ａ 　　 犇犲狊犻狀狅犳犞犝犞犫犲犪犿犾犻狀犲犳狅狉犃犚犘犈犛狊狋狌犱犻犲狊犪狋犛犛犚犉 犵 ， ， ， ＭＡＤｅｗｅｉＱＩＡＯＳｈａｎ ＺＨＡＮＧＸｉｎｉＦＥＮＧＤｏｎｌａｉ ｙ ｇ （ ， ， 犛狋犪狋犲犓犲 犔犪犫狅狉犪狋狅狉 狅 犃 犾犻犲犱犛狌狉犪犮犲犘犺狊犻犮狊 犇犲犪狉狋犿犲狀狋狅 犘犺狊犻犮狊