基于Ansys的压电式四臂加速度计模拟分析.PDFVIP

基于Ansys的压电式四臂加速度计模拟分析.PDF

  1. 1、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。。
  2. 2、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载
  3. 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
  4. 4、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
  5. 5、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们
  6. 6、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
  7. 7、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
基于Ansys的压电式四臂加速度计模拟分析.PDF

第19卷第3期 传感技术学报 v01.19No.3 cHINEsE OF锄啪RSANDAcTUAToRS 2006年6月 JOURNAL Jun.2006 ofFouI。BeamPiezoelectricAccelerometerBasedonANSYS Analysis DONG Mi7zg,HU,Ch“,z,XUAi一缸以 /N洲。竹口ZKPyLn60m加_o,Nn竹o/MicroF46r{∞加聍nc^加Zo删,K纠Ln6Dm£D删,0r N口雄o \o,.Ed“m£io订,hsfi≠“tPo,Mif,.0口竹d Sci明cP口竹d丁-f^竹oZogy,S矗口竹g^口f.,f口DfD竹gL砌iw,百ify,S^4竹g^口i200030,(辘i彻/ addressesthe offour—beam AbstI。act:This paper theory piezoelectric analysis, and of accelerometer.Staticandmodelresultsoffour—beam acceler— applicationpiezoelectric piezoelectric omterare In static between andthicknessof ANSYS. gainedbyusing analysis,relation_shipsensitivity pi— n ezoelectricthin thebeam In f订m,thicknessof beam,andof arediscussed.model suspension length analy— c sis,this demonstratesthefirstthreefundamentalresonant andthe modes study frequenciscorresponding . oftheaccelerometer.Theresultsofof thiscanbe to trade—offand paper read订yappliedperformance design optimization. g 1【eywords:MEMS;mcroaccelerometer;couple小field;ANSYS r EEACC:7230;7320G 库 o

文档评论(0)

sunyangbill + 关注
实名认证
文档贡献者

该用户很懒,什么也没介绍

1亿VIP精品文档

相关文档