基于半导体微环谐振器的光滤波器设计方法.PDFVIP

新型半导体器件 NOVelSemiconductorDevice DOI：10．3969／j．issn．1003—353x．2012．01．005 基于半导体微环谐振器的光滤波器设计方法 张彬，张淑梅 (中国科学院长春光学精密仪器与物理研究所，长春130033) 摘要：提出了一种完整的基于徽环谐振器的光学滤波器的系统设计方法。使用该方法可以从 一定滤波特性参数出发，计算得到每个环之间的耦合系数，再根据耦舍系数和器件尺寸的关系得 到具体的器件尺寸，从而实现光学滤波器从性能特性到器件尺寸设计的一整套完整的解决方案。 并在此基础上利用感应耦合等离子体(ICP)干法刻蚀技术和聚酰亚胺介质平坦化工艺制作了双 环光滤波器，对该设计方法进行了初步的实验验证，使用扫描电子显微镜和原子力显微镜等多种 测试方法证实，制作的光波导具有很好的性能，测试了其梳状滤波特性。 关键词：微环谐振器；光滤波器；Spice模型；耦合系数；感应离子刻蚀 中图分类号：TN252；TN256文献标识码：A 文章编号：1(I)3—353X(2012)O