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RD-PS-WI01S1A兴森快捷-技术中心 □绝密 □机密 □秘密 ■内部公开
试验中心文件
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测试手册
编制 日期 年 月 日 修订 日期 年 月 日 审核 日期 年 月 日 批准 日期 年 月 日
附件编号:1.1 主题: 1.0 目的本标准规定了与电子探针和扫描电镜联用的X射线能谱仪的定量分析方法的技术要求和规范,适用于电子探针和扫描电镜X射线能谱仪对块状试样的定量分析。2.0 应用文献
GB/T 17359-1998 电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析方法通则3.0 试样及标准样品
3.1试样
3.1.1将试样制适于装入所用仪器样品座内的尺寸,并将试样分析表面磨平、抛光;
3.1.2试样表面要作净化处理,如用无水乙醇或丙酮溶液清洗,或用超声波清洗装置进行清洗,去掉一切外来的污染物;
3.1.3对不允许磨光的样品,应在显微镜下观察和挑选出较为平坦的表面,以备分析用;
3.1.4不导电的样品要喷镀碳膜或其他导电膜,并保证与试样座有良好的导电通路。
3.2标准样品
3.2.1首先选用国家标准化行政主管部门批准颁发的国家标准样品,尚无合适的国标时,可选用相应机构认可的研究标样;
3.2.2应尽量选择成分和结构与被分析试样相近的标准样品;
3.2.3应检查标准样品的有效期、表面质量(清洁度、无损伤划痕)和导电性。4.0设备
4.1电子探针仪或扫描电镜的电子枪灯丝充分预热,使发射电流稳定;
4.2对电子光学系统进行合轴调整
4.2.1在扫描电镜中,用扫描图像法精确测定电子束聚焦点的最佳X、Y、Z的坐标位置;
4.2.2坐标位置一旦确定,电子光学合轴系统,包括物镜电流等参数,在定量分析情况下不得再调整
4.3 X射线能谱仪
4.3.1 X射线能谱仪应预热30min,使其工作稳定;
4.3.2在使用有可变窗口光阑的探测器时,应选择合适的窗口直径,对计数率低的样品选用大直径的窗口光阑,对计数率高且谱峰容易重叠的样品选用小直径的窗口光阑;
4.3.3在定量分析时选择最佳的X射线探测器的几何条件(探头里样品的距离),在分析同一样品时,应保持该几何条件不变
4.4 经常检查X射线探测器的窗口污染程度
4.4.1检查时可应用某一纯元素样品的高、低能量的X射线峰值强度比值来估算(如Cu的Kα与Lα谱峰之比值);
4.4.2要经常保持探测器窗口清洁,当污染严重影响X射线的强度时应及时清洁窗口;
4.4.3当污染影响X射线的强度不太严重时,可通过增加X射线探测器的窗口厚度值参数进行修正
4.5 X射线能谱仪的系统检查
4.5.1校验多道分析器的峰位漂移,利用能谱仪中的零位调节系统,使峰位漂移小于1道;
4.5.2校验分析器的能量刻度;
4.5.3检查多道分析器的检出效率;
4.5.4加盐脉冲处理器的状态,调节增益,并使噪音信号尽可能减小;
4.5.5定量分析时,应校验半导体探测器的分辨能力,对Be窗探测器,检查可用纯Cu、Co、Mn等标样进行,对超薄窗探测器还应用含F标样检查低能端的分辨本领;
4.5.6检查所得结果,动手或自动输入到计算机中,备定量时调用
4.6运行相应的X射线能谱定量分析程序5.0测试步骤
5.1 测试条件
5.1.1加速电压的选择应是样品中主要元素的特征X射线的临界激发电压的2~3倍以上,在定量分析时,推荐使用如下的加速电压值:
常见金属和合金:25kV
硫化物:20 kV
硅酸盐和氧化物:15 kV
超轻元素(F):10 kV
5.1.2调节电子束入射束流的大小,通常为1×10-9~1×10-10A,使X射线总计数率在2000~3000cps范围内(生物样品可在800pcs左右),并使死时间小于30%,在定量分析过程中,电子束流应保持稳定
5.1.3被分析特征X射线系的选择
一般原则:优先采用被分析元素的主要发射线系,若样品中含有其他元素对该特征线造成干扰,可按下列顺序选择其他线系:Kα、Lα、Mα、Kβ、Lβ、Mβ
推荐采用的线系:
被分析元素原子序数Z32时,采用K线系
⑵被分析元素原子序数32≤Z≤72时,采用L线系
⑶被分析元素原子序数Z72时,采用M线系
⑷选择不受重叠峰、逃逸峰等干扰的谱线,在确定有干扰时应认真作谱峰剥离
5.1.4计数时间设定应满足分析精密度的要求,一般为100s,或使全谱总计数量大于200000,在测量低含量元素并有精度要求时,应适当延长计数时间,使满足下式要求:
式中:N p——该元素谱峰处计数;
N b——本底
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