蓝宝石单晶晶体生长冷却阶段之降温速率对品质影响研究.PDFVIP

Journal of China University of Science and Technology Vol.54-2013.01 藍寶石單晶晶體生長 冷卻階段之降溫速率 對品質影響研究 Impact of Cooling Rate in the Temperature Dropping Stage of Sapphire Single Crystal Growth 吳玉祥 1 吳添鎰2 Yu-Shiang Wu1 Tian-Yi Wu2 1 中華科技大學機械工程學系暨機電光研究所教授兼長晶中心主任 2 中華科技大學機電光研究所碩士 1Professor, Department of Mechanical Engineering and Graduate School of Optomechatronics 2Master, Graduate School of Optomechatronics China University of Science and Technology 摘 要 藍寶石為氧化鋁 (Al O 的單晶，又被稱為剛玉) (Corundum) ，因為具備優秀的 2 3 機械、光學、化學及抗輻射等特性，於材料業界中廣受重視，更成為LED的主要 基板材料。藍寶石單晶的生長方式有凱氏長晶法(KY) 、柴氏拉晶法(CZ) 、熱交換 法(HEM)與焰熔法等。本研究使用凱氏長晶法來生長藍寶石單晶，並探討冷卻階段 時，以不同的降溫速率 電壓下降速率( ) 比較藍寶石單晶的品質，電壓下降速率分別 設定為 210 mV/hr與160 mV/hr 。經研究顯示，使用 210 mV/hr的降溫速率 ，其晶體 內部因為降溫速率過快而出現大量的裂痕；在 160 mV/hr的降溫速率下，晶體內部 沒有出現裂痕且較為清澈，然而在此晶體內部仍發現些許雜質，推測在加熱過程 中，加熱器表面的微量雜質因為高溫而釋出，並滲入至熔湯所致。 關鍵詞 ：凱氏長晶法、藍寶石單晶 、晶體生長、降溫速率 Abstract Sapphires are single crystals of aluminum oxide (Al O ), also known as 2 3 Corundum. The sapphire is widely valued in the material industry and made into major substrate material for LED, due to its excellent mechanical, optical, chemical and anti-radiation characteristics. The growing methods of the sapphire include Kyropoulos method (KY), Czochralski mothod (CZ), Heat Exchange method (HEM), Flame Fusion method (also known as Verneuil m ethod), etc. This study conducted Kyropoulos method for the growth of sapphire single crystal, and compared the quality of sa