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Foxlink Confidential * 淺談ESD防護 製作：OIBG PIE組 日期：2013年10月 * 目 錄 ◇靜電的基本概念 ◇靜電的危害 ◇靜電的防護 ◇典型的靜電材料 ◇各工段防護裝備 ◇ ESD點檢清單 * 靜電的基本概念—定義 ◇ 什麼是靜電放電 (ESD) ◆ 嚴寒的冬天，當您脫下暖和的毛衣，您會聽到嗶嗶啪啪聲 ◆ 乾燥的冷天，當伸手去開車門或窗戶，會感到觸電的感覺 ◆ 用手去撫摸家裡的貓，您會發現貓竟然怒髮衝冠 這些就是靜電瞬間釋放(ESD-Electro Static Discharge)所主導產生的現象. ◆ 其實靜電並不僅由人為才會產生，例如 – 空中對流的雲層 – 沙漠中隨風飄起的砂 ◆ 靜電:物質表面經由某種過程(如摩擦)而失去電子或得到電子,使帶相對靜止的電荷謂之靜電. * 靜電的基本概念—形成 ◇ 靜電如何形成 　 ◆ 靜電是史載最早發現的一種〝電〞 　 – 靜電其實是自從有人類以來，就影響著人類的生活 – 西元前 640年， 希臘哲學家 THACES 把琥珀(Amber) 摩擦後發現可以吸附毛髮，而開始知道靜電的存在 ◆ 靜電的形成 ? 導 體 – 具有可移動的電子或價電子 (Valence Electrons) 在原子 結構的最外層，亦即受原子核 (Nuclei) 的束縛最小，當受到外 來電場的吸引而移動 (產生電流) ，此類物質稱為導體 ? 絕緣體 – 缺乏上述可移動的電子或價電子的物質，稱為絕緣体 * 靜電的基本概念—靜電產生原因 微觀原因： 根據原子物理理論，電中性時物質處於電平衡狀態。由於電子的得失，使物質失去電平衡，產生了靜電。 * 靜電的基本概念—靜電產生原因 宏觀原因： 1）物體間的摩擦，產生的熱可使 電子轉移，產生靜電； 2）物體間的接觸與分離； 3）電磁感應； 4）摩擦與電磁感應綜合效應。 * 静电的危害 1）人在地毯上行走，在工作臺上工作，操作普通材料等活動都會產生上千伏的靜電。如果靜電電壓的聚集產生火花放電，電子元件、印製板元件和其他電子元件會受到破壞或損壞。 2）集成電路中功能元件因體積小、電路密集更易受到ESD損害。 3）電子零件在搬運過程中由於摩擦、振動或衝擊也會受到ESD損害。 * 静电的危害 ◆即時失效 是指元件受到的傷害會造成其功能永遠失效。 ◆延時失效 是指那些受到較輕的傷害元件沒有完全損壞。 * 静电的危害 右圖是ESD對電子元件的損害，箭頭所指處為靜電放電後造成的“爪型腳”，使集成電路部分損壞。 * 静电的危害案例 1.2013年7月中旬，OIBG事业处新开线别生产ZEST CABLE，因机台静电（机台未接地）击穿IC致使T1电气测试批量性的红黑短路不良。2.2012年11月上旬，OIBG事业处生产2A DC CABLE，因产线防静电设施部分失效，加之修理Connector时未带静电环致使T2、T3测试批量性的短路。 * 静电的防護 靜電防護的基本原則：1）抑制靜電荷的積累2）迅速、安全、有效地消除已經產生的靜電荷 * 1.靜電洩漏： 通過替換電子生產過程中接觸到的各種絕緣物，而改用防靜電材料並使之接地來完成。例：防靜電腕帶、衣服、鞋。 静电的防護 * 2.靜電中和： 當不便使用ESD防護材料或必須將高絕緣容易產生靜電的物品存放工作臺時，必須借助靜電離子消除器或感應式靜電刷來實現。 静电的防護 * 3.靜電屏蔽與接地： 常用於高壓電源產生的靜電場遮罩、或某些靜電敏感電路的元件遮罩，從而避免靜電放電的幹撓；例：手機及小靈通上的遮罩蓋。 静电的防護 * 4.增濕： 增加空間的濕度，使物體積蓄的靜電荷可以更快的洩漏，為對靜電達到最佳的控制，濕度必須保持在60％-70％範圍內。 静电的防護 * 典型的靜電材料 * 各工段防护装备 1.人體ESD 防護： (1)ESD防護工作服又叫防靜電工作服 (2)ESD防護鞋防靜電鞋 (3)防靜電腕帶或腳帶 (4)ESD防護指套 (5)防靜電襪子 (6)防靜電帽子 * 各工段防护装备 2.电子工业生产环境中的ESD 防护装备： (1)ESD 防护台 (2)分路棒线夹导电泡沫材料 (3) ESD防护地板 (4) ESD防护电烙铁吸锡器 (5) ESD防护夹具维修包存放架 (6) 各类ESD防护包装和容器 (7) E