强碱处理Ti片制备TiO2薄膜的研究-高校化学工程学报.PDF

第27 卷第6 期 高 校 化 学 工 程 学 报 No.6 Vol.27 2013 年12 月 Journal of Chemical Engineering of Chinese Universities Dec. 2013 文章编号：1003-9015(2013)06-1051-07 强碱处理Ti 片制备TiO2 薄膜的研究 1 1 2 2 陈静允 , 刘宗健 , 周 环 , 郑遗凡 (1. 浙江工业大学 化学工程与材料学院, 浙江 杭州 310014; 2. 浙江工业大学 分析测试中心, 浙江 杭州 310014) 摘 要：通过在较低碱浓度(0.5~4 molL1 NaOH 或KOH) 、较短时间(0.5~7 h)及较低温度(20~80℃)条件下处理钛片， 用扫描电镜(SEM)、X 射线光电子能谱(XPS)考察了反应温度、碱浓度及时间对所形成薄膜形貌及组成的影响。结果发 现，在上述实验条件下，生成薄膜的主要成分是TiO ；随着温度、碱浓度及时间的增加，钛酸盐的含量略有增加；同 2 时在温度较低时，还有少量低价钛氧化物存在。研究结果还表明，低浓度的碱液、低反应温度和短的反应时间有利于 形成线状网状结构的薄膜，高浓度的碱液、高反应温度和较长的反应时间有利于形成带状多孔网状结构的薄膜，甚至 形成花簇状结构。对 TiO2 薄膜的形成机制进行了探讨，并从动力学角度解释了生成薄膜的成分是 TiO2 而非钛酸盐的 原因。 关键词：二氧化钛；扫描电镜；X 射线光电子能谱；薄膜 中图分类号：O614.411 文献标识码：A DOI ：10.3969/ j.issn.1003-9015.2013.06.021 A Study on Preparation of TiO Thin Films by Alkali Treatment of Ti Foils 2 1 1 2 2 CHEN Jing-yun , LIU Zong-jian , ZHOU Huan , ZHENG Yi-fan (1. College of Chemical Engineering and Materials Science, Zhejiang University of Technology, Hangzhou 310014, China; 2. Research Center of Analysis and Measurement, Zhejiang University of Technology, Hangzhou 310014, China) Abstract: Titanium foils were treated in alkali solutions (0.5~4 molL1 NaOH or KOH) at relatively low