沉积条件对低温各向同性热解炭微观结构的影响-中国有色金属学报.PDFVIP

第 25 卷第 1 期 中国有色金属学报  2015 年 1 月  Volume 25 Number 1  The Chinese Journal of Nonferrous Metals  January2015  文章编号：1004­0609(2015)­01­0165­06  沉积条件对低温各向同性热解炭 微观结构的影响 张建辉，夏文莉  (杭州电子科技大学 机械工程学院，杭州  310018)  摘 要：采用不同浓度的丙烷通过准稳态流化床化学气相沉积(FBCVD)工艺在 1250~1450℃的沉积温度下产生低 温各向同性热解炭(LTIC)，利用 SEM 和 TEM 研究沉积温度和丙