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利用CO2激光法快速制造PMMA基材的微流控分析芯片.pdf
第7卷第4期 纳米技术与精密工程 V01．7No．4
2009年7月 andPrecision 2009
NanotechnologyEngineering Jul．
FabricationofMicrofluidiconPMMASubstrateLaser
Rapid Chip byCOz
HONG
Ting—Ful，JUWei-Jhon91，LEONG
Jik—Chan92，LINChiu．Fen92，TSAIChien—Hsiun92，FULung—Min91
ofMaterials ofScienceand
(1．DepartmentEngineering，PingtangUniversity Technology，912Pingtung，Taiwan，China；
ofVehicle ofScienceand
2．Department Engineering，PingtangUniversity Technology，912Pingtang，Taiwan，China)
Abst喇：This a availablelaserscriberto the ablation
paperpresentswidely C02 performdirect—writing
of forthe ofmicrofluidic surface
methacrylate)(PMMA)substrate
pely(methyl development chips．The
oftheablatedmicrochannelsandthe ofdebrisanddistortionwereexamined
quality presence byscanning
electron force andsurface measurement
microscopy，atomicmicroscopy profile techniques．Thedeveloped
laser
ablation aversatileandeconomic forthefabricationofmicrofluidic
system
provides approach chips
onPMMAsubstrate．Inthelaser desiredmicrofluidicare
writingprocess，the patternsdesignedusing
commercialsoftwareandalethentransferredtothelaserscribertoablatethetrenches；The静
computer
suitsshowthata channelwall
smooth withsurface l∞sthan4nmcanbeachieved
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