CCD器件相对光谱响应测试仪.pdfVIP

第33卷 ，第 10期 光 谱 学 与 光 谱 分 析 V01．33，No．1O，pp2865-2868 2013年 10月 SpectroscopyandSpectralAnalysis October，2013 CCD器件相对光谱响应测试仪 闫 丰，周 跃 ，章明朝，陈 雪 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，吉林长春 130033 摘 要 设计并实现了一种涵盖400~950nrn的全 自动CCD器件相对光谱响应测试仪。分析了成像器件的 相对光谱响应测试原理，采用宽光谱、高灵敏度响应的科学级光纤光谱仪 QE65000作为参考探测器，基于 单光路直接比较法，构建了CCD器件相对光谱响应测试仪器。该装置可全自动完成CCD器件的相对光谱响 应测量，不确定度分析结果表明，该装置对 CCD器件开展相对光谱响应测试的最大不确定度为6．21％，满 足应用需求 ，可为CCD等图像传感器甄选、参数性能评价及后续整机测试提供关键数据支撑。 关键词 CCD；相对光谱响应 ；全 自动测试；不确定度 中图分类号 ：TN386．5 文献标识码 ：A DO1：10．3964~．issn．1000—0593(2013)10—2865—04 求参考探测器的稳定度高。数据采集系统采集 CCD探测器 引 言 与参考探测器输出信号之后，经处理得到CCD探测器的相 对光谱响应。该类方法在一定程度上减少了环境和背景的影 电荷耦合器件 (CCD)具有信号输出噪声低、动态范围 响，需要系统光谱的高度稳定性及单色仪的高度重复性，其 大、量子效率高以及电荷转移效率高等优点 ，以其对信息表 测量准确度较高。实际应用中，多采用直接比较法。 达的高灵敏度和高准确性在天文、遥感、军事、医学、安防、 目前，国内采用直接 比较法开展相对光谱响应测试时， 工业等诸多领域[1]被广泛应用。目前，国内CCD芯片研制 参考探测器多采用无光谱选择性 的探测器 (如真空热电堆、 及光电参量测试技术与国外差距较大，而西方发达国家高端 腔体热释电探测器)[12-153，其响应速度慢，单色辐照要求高， 航空级CCD价格极为昂贵，且大部分对我国禁售，国内在航 与CCD，特别是高灵敏度 CCD实际应用要求相去甚远。面 空、航天领域对高性能CCD器件需求又极为迫切。为降低成 向可见光 CA：D相对光谱响应需求，本文选用具有高量子效 本 ，节约时间，通常购置国外商业、工业级CCD芯片按照器 率、高线性度及信噪 比的QE65000科学级光纤光谱仪为参 件性能进行甄选。因此，亟需开发能够完成对CCD器件光电 考探测器，基于单光路直接比较法设计并实现了一种全 自动 参量进行精确测试的仪器设备 ，为国内CCD器件应用及后 CCD器件相对光谱响应测试仪，开展了实际测试工作 ，并就 续整机性能评估测试提供关键数据支撑。 不确定度进行了分析讨论 。 光谱响应描述了探测器响应与辐照波长之间的关系[8]， 是 CCD探测器的基本参数之一，是器件甄选、应用系统设计 1 测试原理 与性能评估的重要参考。目前 ，探测器相对光谱详细测试可 归纳为四种基本方法：宽带滤光片法；标准替代法；直接比 CCD器件对入射 的单色辐射 产生 的电信号 V()与此 较法；傅里叶变换法 “]。宽度滤光片测量由于精度低已很 波长下的光照度EGO之比称为CCD器件绝对光谱响应 sGt) 少被使用。傅里叶变换法需要一个已知分光比谱曲线的分束