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一种静电驱动可调电容器的设计 李飞 北京邮电大学，北京（100876 ） E-mail ：lifei.bupt@ 摘 要：本文主要是介绍一种新的可调电容器的设计。这种可调电容器采用静电驱动金属膜 的原理工作，与一般的只有单极板可动的可调电容器相比，这种结构的不同之处在于采用一 些复杂的制作工艺，制作出电容两块极板均可动的可调电容器。这种结构包括两层可动金属 板，下层金属板上覆盖一层薄的绝缘层，防止两层金属膜发生接触粘连。上下两层可动板之 间留有一定厚度的空气隙，金属板在这个区域内可以活动。 关键字：微电子机械系统；可调电容器；平行板电容器 1 引言 微电子机械系统(Micro Electro Mechanical System)，简称MEMS ，是在微电子技术基础 上发展起来的集微型机械、微传感器、微执行器、信号处理、智能控制于一体的一项新兴的 [1] 科学领域 。 MEMS 的特点和优