声表面波气体传感器地原理及研究进展.pdfVIP

声表面波气体传感器的原理及研究进展1 薛力芳，刘建国，黄烨，刘爽英，赵启大，刘丽辉，董孝义 （南开大学现代光学研究所 天津 300071） 摘 要：简要叙述了声表面波（SAW）气体传感器的传感原理和研究进展，详细阐述了声表 面波气体传感器阵列的新型结构及其主要功能，为实现集成化，多参量测量和高灵敏度 SAW 气体传感器的优化结构设计提供了参考依据。 关键词：声表面波 气体传感器 1 引言 声表面波(SAW)传感器的研究起源于 70 年代，当时人们在研究SAW 电子器件的时候发 现表面沉积物、应力、温度、电场、磁场等外界因素均会对器件的特性产生较大的影响，这 些影响是电子器件所不希望的，然而却十分适用于传感器的研究。由于这种传感器具有高精 度、高灵敏度、高分辨率、抗电磁干扰能力强，不需要模/数转换，敏感器件采用半导体平 面工艺制作，易于集成及大规模生产等优点，30 多年来，以SAW延迟线或谐振器作为核心