配线最佳化技术改善晶圆量测结果-CTimes.PDF

Submitted to Deb Vogler at SST for consideration on October 8, 2010 (於2010 年10 月8 號提交給固態技術(SST) Deb Vogler 審查) 配線最佳化技術改善晶圓量測結果 作者: Dave Rose, 吉時利儀器資深應用工程師 . 進行任何材料或元件特性分析，非常需要能執行精準直流、交流阻抗、超快速 I-V 或 脈衝 I-V 的量測能力。從測試設備到半自動或手動探針台的複雜接線，可能使晶圓準 確量測不容易達到。本文探討直流、多頻電容、超快速 I-V 和脈衝測試的接線技術， 以及說明適當接地和屏蔽的重要性、針對特定量測選擇適當轉接，和常見轉接問題的 解決。 直流量測的配線 瞭解待測訊號的大小較容易推定可能誤差源。為簡單起見，假設所有待測信號既不是 高電壓（即，大於 100V）也不是大電流（大於 200mA）。那誤差來源就可分為三類： 洩漏電流，靜電干擾和機械效應。 洩漏電流 所有流過非預期路徑的電流，例如流經轉接器的絕緣體。當待測物的阻抗大小近似於 電路上各種絕緣體時，洩漏電流就會形成量測問題。使用具有鐵氟龍或聚乙烯高阻值 絕緣體的高品質電纜是最簡單的解決方法。較好的電纜同時較能減少電介質吸收的效 應，其也是絕緣材料的一項功能。 儘管使用有品質電纜對減少洩漏電流大有幫助，總是還不太足夠。重要的是要 瞭解當一般像電源量測單元(SMU)的直流儀器，經由同軸電纜連接到待測物時將會發 生甚麼狀況。圖 1. 描繪出洩漏電流(I )如何流過電纜絕緣電阻(R ) 。這會造成SMU 所 L L 量測到是流經待測物的電流(IDUT)與洩漏電流的總合，而非只是流過待測物的電流量。 圖 1 洩漏抑制可消除流經絕緣體的洩漏電流效應。洩漏抑制端是電路上的低阻抗 點，其與電路上高阻抗引線有相同電位。在一個啟動洩漏抑制的量測過程中，由於屏 蔽層被施加與 SMU 正極輸出一樣的電位，所以無電流流經絕緣電阻，進而消除洩漏 電流效應。 除了屏蔽和訊號導體外，洩漏抑制需要儀器提供第三個連接端。理論上，同軸 電纜上進行洩漏抑制連接是可行的。但是不安全的，因為屏蔽體將是與輸出端等電 位。SMU 的洩漏抑制從不連接到同軸電纜的屏蔽層。不過，具有兩個屏蔽層的三同軸 電纜能解決此問題，其一是洩漏抑制所連接的內層屏蔽層，另一外層屏蔽體是連接到 訊號低端。(圖 2.) 圖 2 靜電和磁場干擾 這類干擾發生於受到電場(或磁場)作用下帶電物體干擾待測電路時。雖然這些效應在 低阻抗電荷消散快速狀況下可以忽略，但在高阻抗就有明顯影響。靜電干擾源一般來 自周遭環境，例如螢光燈、馬達，甚至是人體。靜電引起的誤差通常透過一些電路上 電容耦合效應，其會產生如下方程式定義的額外電流: dV dC i C +V dt dt 有兩種方法可減少靜電耦合引起的誤差。第一種是使用屏蔽式三同軸電纜。另 一種真正能有效地減低靜電干擾的方法，就是將探針台轉接板、黑盒子或金屬外殼連 接到大地，將所引起的電流雜訊經由屏蔽層導引到大地，而避免流入待測物。 儘管將探針台的外殼或轉接板接地是減少靜電干擾的好方法，但接地方式沒有 適當處理會使干擾更形嚴重。一般由於探針台和儀器各別連接到獨立電源插座上，所 以兩者都連接到各別的電源接地。在這種配置下，波動電流可能在儀器和探針台間流 通，並往儀器接地單元或低電位端移動而產生誤差。這就是所謂接地迴路。為避免接 地迴路的形成，應該將探針台外殼和屏蔽連接到共同點。 機械效應 摩擦電和壓電效應也是直流量測誤差的主要來源。摩擦電電流是由導體和絕緣體之間 摩擦所產生電荷造成的，當自由電子脫落於導體時，造成電荷不平衡而產生的電流。