传感器技术与应用宋德杰电子课件第7章节位移传感器.pptVIP

7.4.2 差动电容传感器的结构及工作原理 　　在实际应用中，为了提高电容位移传感器的灵敏度，常常采用差动形式的电容位移传感器，它是典型结构如图7-26所示。 图7-26 差动电容式位移传感器 其中两边的两片为定极板，中间的为可动极板(或可动介质)，它们组成差动电容器。开始时可动极板（或可动介质）位于中间位置，C1=C2=C0。当可动极板(或可动介质)移动位移x后，一个电容器的电容量增加，而另一个电容器的电容量减少，而且两者变化的数值相等。 可以证明，差动电容式位移传感器比单电容式位移传感器的灵敏度提高一倍，而且非线性（如果有的话）也大大降低。同时，差动电容式传感器还能减少静电引力给测量带来的影响，有效地改善由于温度等环境变化所造成的测量误差。 7.4.3 电容式传感器的测量电路 1.调频电路 　　如图7-27为调频电路原理框图。 图7-27 调频式测量电路原理框图 　　图中调频振荡器的振荡频率由下式决定 (7-47) 其中：C由三部分组成： 传感器的电容Cx=C0±△C； 谐振回路中固定电容C1； 传感器电缆分布电容C2。 假如没有被测信号，那么△C = 0，C = C1+ C0+ C2。这时振荡器的振荡频率称作固有振荡频率，记作f0，则 (7-49) (7-48) 当被测信号不为零时，则△C≠ 0,振荡频率变为f，则 2.谐振电路 图7-28(a)为谐振电路的原理方框图。 图7-28 谐振式测量电路原理框图及特性 当传感器电容Cx发生相应的变化，改变调谐电容C，使谐振回路调节在和振荡器振荡频率ωr相接近的频率上，并使Cx=C0时的电压U0为振荡电压Um的一半，这时工作在特性曲线的N点上，见图7-28(b)。该点在特性曲线右半直线段的中间处，这样就保证了仪表输入电压与电容变化量△C成线性关系；如若△C变化范围不超过特性曲线的右半段，则又保证了输出与输入之间的单值关系。 1.电容式电缆偏心测量传感器 图7-29给出了电容式电缆偏心测量传感器原理图。在实际应用中，是采用两对互相垂直的极板(图中只画出一对)。 当电缆芯不偏心时，有C1=C2=C0。当电缆芯偏心时，C1≠C2。利用差动电容测量电路就可将电容的变化量测量出来，这个变化量与x方向的偏移量x1有关。 7.4.4 常见电容式位移传感器及其应用 图7-29 电容式电缆偏心测量传感器原理 2.差动电容测厚传感器 　 差动电容测厚传感器的结构及工作原理如图7-30所示。它是在被测带材的上下两边各放置一块面积相同，且与金属带材距离相等的极板，这样两块极板与带材就形成了差动电容C1和C2（带材也作为一个极板）。 图7-30 差动电容测厚传感器工作原理 若把两块极板用导线连结起来，就成为一个极板，而带材则是电容器的另一极板，其总电容Cx为 金属带材在轧制过程中不断向前推进，如果带材厚度发生变化，它将引起上、下两个极板间距变化，即引起两个电容C1和C2的变化。从而引起总电容Cx的变化。用测量电路把这个变化测量出来就可知道厚度变化多少。 由于这种测厚传感器是采用了差动电容器，若带材的厚度不变，当带材振动时，一个电容量增大多少，则另一个电容量就相应的减少多少，故总容量不变。因此带材的振动不会影响厚度的测量结果。 7.5 霍尔式位移传感器 7.5.1 霍尔效应 　　置于磁场中的静止载流导体或半导体薄片，当通过它的电流方向与磁场方向不一致时，那么在该薄片垂直于电流和磁场的方向上将产生电 动势，这种现象就称作霍尔 效应。该电动势就称作霍尔 电势。霍尔电势的产生原因 可用图7-31来说明。 图7-31 霍尔效应原理图 经理论推导可知，霍尔电势UH的大小为 (7-51) 令KH=RH/d，则KH称作霍尔片的灵敏度。这时式(7-51)可写成 (7-52) 　　基于霍尔效应工作的器件称作霍尔器件。霍尔器件主要有两大类，一类是霍尔元件；另一类是霍尔集成电路。 7.5.2 霍尔元件 1.霍尔元件的结构及特性 　 霍尔元件的结构和电路图形符号如图7-32所示。 霍尔元件的结构 图7-32 霍尔元件结构及电路符号 霍尔元件的电磁特性 霍尔元件的电磁特性主要有两个，一个是UH—I特性，见图7-33(a)；另一个是UH—B特性，见图7-33(b)。 图7-33 HZ型霍尔元件的电磁特性 当控制电流I一定时，虽然理论上推导霍尔电势输出UH与磁感应强度B呈线性关系；但实验证明，霍尔电势输出随磁场的增加并不完全呈线性关系，只有工作在0.5Wb/m2以下时，线性度才比较好。 图7-33(b)就说明了这一点。 2.霍尔元件的主要参数 额定激励电流和最大允许激