石英坩埚检验标准.doc

嘉兴五神光电材料有限公司 文件编号：CZSi-05-1 电弧石英玻璃坩埚检验标准 版本号：A/1 页码：第21页 共22页 生效日期：2009年4月21日 1、范围 本标准适用于拉制太阳能单晶用的石英玻璃坩埚的要求，检验规则及标志、包装、运输和贮存。 2．术语和定义 下列术语和定义适用于本标准. 2.1 裂纹 坩埚表面能发现出来的裂纹或微细裂纹. 2.2 划伤 内表面能看见的划伤 2.3 附着物 附着在坩埚表面上的任何物质 2.4 表面沾污 内外表面的不干净膜、变色、喷溅、指纹等。 2.5 杂质 石英玻璃组成中二氧化硅(SiO2)以外的组分. 2.6 凹坑 坩埚内表面呈现的凹坑 2.7 崩边 坩埚边沿的缺口或伤疤 2.8 气泡 表面存在的开口泡或夹层里存在的气泡. 2.9 气泡群 坩埚壁厚内密集着2个以上的气泡,气泡间距不超过气泡直径的5倍 3. 要求 3.1 电弧石英玻璃坩埚的形状应符合图1的规定 图1 电弧石英玻璃坩埚的形状 注：D—外径，H—高度，W1、W2、W3—厚度，R—标称半径（底部），r—标称半径（弧度） 3.2 规格尺寸及偏差(见表1) 表1 规格尺寸 ㎜ 规格(英寸) 外径(D) 高度(H) 壁厚(W1) 壁厚2(W1) 壁厚3(W1) 半径1(R) 半径2(r) 18“ 457 321±3 9.0 10.0±2 10.0±2 500 120 20“ 507 356±3 10.0 11.0±2 11.0±2 508 90 3.2.1 涂层英石英玻璃坩埚,其涂层厚度应不小于0.5㎜. 3.2.2 用真空法生产的电弧石英玻璃坩埚,其真空玻璃态厚度应不小于3㎜ 3.3 外观 3.3.1 石英玻璃坩埚内外表面应清洁无沾污. 3.3.2 坩埚内外不允许有裂纹. 3.3.3 坩埚口端部不允许有切割毛刺崩边,口端部内倒角应﹥2㎜. 3.4 外观质量指标 3.4.1 划伤 坩埚底部不允许有划伤、触痕。 3.4.2 凹坑 a.不允许有无光泽的凹坑,底部连接弧度处不允许有凹坑. b.有凹坑,但很光滑能满足壁厚要求,直径小于5㎜,不允许超过2只. 3.4.3杂质点 a.坩埚内表面上不允许有杂质点. b.处有坩埚壁厚中用肉眼能够判断的杂质点的数量(只数)应不大于表2的规定. 表2 杂质点数量 直径(㎜) 坩埚规格(㎜) 457 507 0.5﹤Φ≦1.0 2 2 1.0﹤Φ≦1.5 1 1 注1: Ф﹥1.5㎜的杂质不允许 注2: 每平方厘米杂质点数量不超过2只. 3.4.4气泡 a. 坩埚内表面不允许有开放的气泡. b. 坩埚内表面不允许因气泡造成凸出的点. c. 距口边40㎜以外处在坩埚壁厚内的气泡数量(只数)应不大于表3规定 表3 气泡数量 直径(㎜) 坩埚规格(㎜) 457 507 0.5﹤Φ≦0.7 5 5 0.7﹤Φ≦1.0 4 4 注1: Ф﹥1.0㎜以上的气泡不允许 注2: 每平方厘米气泡数量不超过2只. 3.4.5 不允许有未熔融的原料份或杂质附着物存在即生料点。 3.4.6 铝、钙、铁、铜、钾、钠、锂、硼等13个杂质元素的总含量不大于5×10-5 其中该8种杂质元素的含量应不大于下表的规定. 表4杂质元素的含量×10-6 元素符号 Al Fe Ca Cu K Na Li B 含量 ≤ 10 0.5 0.5 0.02 0.5 0.5 0.5 0.1 3.5检验原则 3.5.1 入厂检验：品质管理人员按5%比例逐抽检..注意戴好无尘手套、口罩..单晶车间操作工在生产过程中逐只检验.. 3.5.2 判定规则：各项外观质量指标达到规定指标要求则判该只坩埚为合格，当要求中任意一项指标不合格时，则判该只坩埚为不合格． 3.6 标志、包装、运输、贮存 3.6.1 标志 3.6.1.1 每只或每箱产品出厂时应附有产品说明书、合格证． 3.6.1.2 合格证上应写明产品名称、规格、数量、生产日期、制造厂名、商标和产品标准号。 3.6.2 包装 3.6.2.1 每只坩埚用定型泡沫塑料包装,然后放入纸盒内,避免运输中碰损. 3.6.3 运输 3.6.3.1 装、卸、运都要轻拿、轻放,不能扔摔,碰撞.防止雨淋日晒,防止受潮. 3.6.4 贮存 3.6.4.1 产