FTM-V膜厚监控仪技术使用说明书.doc

FTM-V膜厚监控仪技术使用说明书 物工院 薄膜组 2011.03.29 FTM-V膜厚监控仪技术使用说明书目录FTM-V膜厚监控仪简介 第一节 主要技术规范??FTM-V监控仪技术规范 ? 标准探头技术规范??????带档板探头技术规范 ? 折封、初次安装和清点????第二节 编程、操作 ? 面板描述??????后板描述 ??参数设置（编程方法）?????操作方法 ? 人工终止镀膜???第三节 安装与连接 ? 仪器安装??????连接后板接头 ? 探头装配??????安装探头校验 ? 探头安装????第四节 校正 ? 材料密度校正????? 工具因子的确定 ? 材料声阻校正??????工作原理 ? 几点说明????第五节 维护与修理 ? 探头故障、原因、修理???????仪器的保养 第六节 计算机连接FTM-V膜厚监控仪??? 欢迎使用FTM-V膜厚监控仪。 ??? FTM-V膜厚监控仪使用说明书对探头安装、仪器操作、设备维护等方面都作了详细说明，因此在使用本仪器之前，请仔细阅读，相信会给您操作带来一定帮助，谢谢！FTM-V膜厚监控仪??? 本膜厚监控仪适用于真空蒸发、高频溅射、直流溅射、离子镀等镀膜，通过液晶显示使您能连续获取完整的沉 积数据，包括速率、厚度和晶体振荡频率。仪器附有本公司生产的探头，晶体振荡器、6MHZ平凸石英晶片和电缆连接线，这些附件提供较高的测量灵敏度，以适应您的低速率应用和重复镀膜过程中所需的精度。???? FTM-V膜厚监控仪增设三种特殊控制功能，一是可以对一种或几种镀膜材料进行巡回连续镀膜，二是具有两个输出接头，允许您可以控制探头档板，源档板和沉积源等，三是为了提高镀膜精度和镀膜重复性，采用预镀膜和正式镀膜相结合方式。??? 我们还提供RS-232计算机接口，以便将您的个人电脑与FTM-V膜厚仪连接起来，通过计算机进行遥控操作和存储镀膜过程中的参数。 FTM-V膜厚监控仪外型参见图1.1 ?图1.1 FTM-V膜厚监控仪 ??? FTM-V 膜厚监控仪面板参见图1.2??? ?????????????????????????????? 图1.2 FTM-V 膜厚监控仪面板 ????????????????????????????面板说明 图中序号?????????? 名称????????????????? 说明?? 1????????????????? 液晶显示器???? 带背光高亮度显示器，屏现尺寸132*39mm?? 2????????????????? 工作层键?????? 选择镀膜层，显示振荡频率，人工停止镀膜 ?? 3????????????????? 设置键???????? 设置镀膜层参数?? 4????????????????? ↓键?????????? 光标下移 ?? 5????????????????? ↑键?????????? 光标上移?? 6????????????????? 巡回/定时键??? 设置镀膜巡回次数，设置定时时间 ?? 7????????????????? 0/删除 键????? 数字0；镀膜层删除?? 8????????????????? 启动/开始 键?? 预镀膜；正式镀膜 ?? 9????????????????? 指示灯???????? 镀膜过程中信号指示?? 10???????????????? 数字键??????? 计算器风格（0-9）数字输入在光标位置 ?? 11???????????????? 微调电位器??? 调节液晶显示的背光度?? 12???????????????? 电源开关????? FTM-V电源第一节 主要技术规范1.??????? FTM-V监控仪技术规范 1.1???????监测厚度显示范围 0-99μ9999?1.2???????厚度显示分辨率 1? 1.3???????速率显示范围 0-9999.9?1.4?????? 速率显示分辨率 0.1? 1.5???????监测时间显示范围 1分-99小时1.6???????时间显示分辨率 1秒 1.7?????? 晶体振荡频率 自动显示，新鲜晶片振荡频率接近于6MHZ1.8?????? 编程功能 1.8.1???? 设置镀膜厚度 1?-99μ9999?1.8.2???? 镀膜层数 十六层 1.8.3???? 材料密度，声阻抗 贮存常用52种材料密度，声阻抗参数，可任意调用。1.8.4???? 工具因子 0.001-99.999 1.8.5???? 探头选择 A、B、C、D任意选择1.8.6????