等离子蚀刻机使用说明书.doc

  1. 1、本文档共25页,可阅读全部内容。
  2. 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
  3. 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载
  4. 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
等离子蚀刻机使用说明书

设 备 使 用 说 明 书 设备名称:等离子蚀刻设备 设备型号: KWT-200-1000FSK 北京中联科利技术股份有限公司 Beijing China United Cleaning Technology Co.,Ltd. 地址:北京市朝阳区北苑路40# 邮编:100012 电话:010传真:010目 录 一、概述…………………………………………………………………………… 二、主要技术指标………………………………………………………………… 三、工作原理及结构特征………………………………………………………… 四、工艺特性及控制要点………………………………………………………… 五、使用说明…………………………………………………………………… (一)、塾悉本机资料 …………………………………………………………… (二)、开机前的准备 …………………………………………………………… 六、操作说明 …………………………………………………………………… 七、使用注意事项………………………………………………………………… 八、简单故障与排除……………………………………………………………… 九、设备机械主要图纸…………………………………………………………… 十、设备电控原理图 …………………………………………………………… 一 、 概 述 1.1产品特点 KWT-200-1000FSK型等离子体刻蚀机具有占地面积小、装片容量大、生产率高等优点。同时,还具有手动/自动功能。除装卸片要人工操作外,其余过程实现了全自动,保证了工艺的准确性和重复性,大大地提高了产品质量。 1.2设计目标、设计原理 该设备主要用于太阳能电池周边掺杂硅的刻蚀,也可用于半导体工艺中多晶硅、氮化硅的刻蚀和去胶。 原理:等离子体刻蚀是采用高频辉光放电反应,使反应气体激活成活性粒子,如原子或游离基,这些活性粒子扩散到需刻蚀的部位,在那里与被刻蚀材料进行反应,形成挥发性生成物而被去除。它的优势在于快速的刻蚀速率同时可获得良好的物理形貌 。(这是各向同性反应) 在辉光放电条件下, CF4→C4++4F- O2→2O2- F+Si→SiF4 SiF4挥发性高,随即被抽走。 刻蚀过程的主要反应 放电过程 e-+CF4→CF3++F+2e e-+CF4→CF3+F+e- e-+CF3→CF2+F+e- O2+e-→2O+e- 腐蚀过程 Si+4F→SiF4↑ 3Si+4CF3→4C+3SiF4↑ 2C+3O→CO↑+CO2↑ 二、 主要技术指标 我公司研制的等离子体刻蚀机规格: CUCKWD-SK-200 CUCKWD 中联科伟达高新转换产品 SK 等离子体蚀刻机 200 基片最大直径200㎜ 2.1 刻蚀介质: 5〞、6〞 掺杂硅/氮化硅 2.2 刻蚀部位: 硅片方片周边 2.3 产能 最大装片量: 400片/批 刻蚀速率: Si3N4 50nm/min 掺杂硅 200nm/min 批处理时间:20~30min;真空系统标准配置3路工艺气体通路; 2X-15机械泵,工作压力自动控制; mbar; 工艺压强:0.5~2mbar; 设备可靠性:设备平均维修间隔时间MTBF≥500; 设备平均维修时间MTTR≤4。 3.2设备系统图 反应室采用立式结构,射频功率通过电感耦合到反应室内,同时基片采用旋转方式 真空系统采用旋片式机械泵,具有主抽和预抽两路抽气管路,既保证本底抽空的时间,又使气氛扰动减小,减少粉尘扬起,保证基片清洁 装片运行开预抽—主抽—送气—辉光—抽空—清洗—充气运行关取片 4.2工艺说明 预抽:主要通过预抽电磁阀,将反应室的空气抽走,压力保持在0.01MPa以下; 主抽:主要通过主抽电磁阀和电子执行器(微调气压装置),将反应室的气压保持在

文档评论(0)

pangzilva + 关注
实名认证
内容提供者

该用户很懒,什么也没介绍

1亿VIP精品文档

相关文档