低温等离子体放电管中的电子能量的测估.doc

第 35 卷第 10 期 2007 年 10 月 同 济 大 学 学 报( 自 然 科 学 版) J OU RNAL O F TON GJ I UN IV ERSIT Y(NA TU RAL SC IENCE) Vol . 35 No . 10 Oct . 2007 低温等离子体放电管中的电子能量的测估 马宁生 ,葛自良 ( 同济大学 物理系 ,上海 200092) 摘要 : 通过检测放电光谱的相对强度 ,根据检测到的原子 、离子的跃迁谱线 ,考察放电等离子体形成的途径 ,从而估 算电子能量 ;或检测同一种元素的激发态原子与激发态离子的发射谱线的相对强度 ,在近似满足局部热平衡条件 下 ,推广使用高温等离子体的电子温度诊断公式 ,来估算电子温度. 通过上述两种方法 ,可了解电子的能量情况 ,对 放电管可作出相应的评价 ,进而对放电管进行优化研究. 关键词 : 低温等离子体放电管 ; 电子能量 ; 发光光谱 中图分类号 : O 536 ; TN 13 文献标识码 : A 文章编号 : 0253 - 374 X(2007) 10 - 1416 - 04 Evaluatio n of Ele ctro n Ene rgy in Lo w2Te mp e rature Pla sma Di scharge Re a cto r M A N i n gs hen g , G E Zi l i a n g (Depart ment of Physics , To ngji U niversit y , Shanghai 200092 , China) Ab stra ct : Elect ro n energy is evaluated o n t he basis of t he measurement of t he relative intensity in t he spect rum of discharges and t he detectio n of t he t ransitio n spect rum of ato ms and io ns as well as t he in2 vestigatio n into t he fo r matio n of t he low2temperat ure plasma . Elect ro n temperat ure in t he co nditio n of app ro ximate heat balance o n t he partial area is also o btained by measuring relative intensit y of multiplet f ro m t he exicited state ato m and io n of t he same element . The above t wo met ho ds are helpf ul to t he e2 valuatio n and op timizatio n of t he discharge reacto r . Ke y wo rd s :low2temperat ure plasma discharge reacto r ; elect ro n energy ; spect rum 近年来 ,放电等离子体技术已广泛应用于臭氧 合成. 在烟气脱硫脱硝 、有害气体及挥发性有机物等 废气处理工业生产中由于对放电等离子体反应过程 的机理知之甚少 ,反应过程中可变参数又很多 ,而且 缺乏必要的监测与调控手段 ,致使生产效率低下. 工 业界迫切要求加强有关的基础研究 ,优化过程参数. 但目前主要还是借助于经验办法 ,进行对照比较式 的研究 ,这显然难于满足形势的需求1 . 优化过程参数 ,即结合所要达到的工艺目标 ,研 究选取合适的工作气体或气体混合物及气体流量 , 选取结构合适的反应器 ,选取合适的低温等离子体 产生条件 (放电电压 、功率 、频率等) . 放电等离子体 化学反应的本质在于 ,要使迁移率高的电子在电场 中得到足够的加速度 ,获取足够高的能量 ,造成电子 能量远高于分子能量的非平衡状态. 高能电子与中 性分子猛烈地碰撞 ,使这些中性分子被强烈地激发 、 收稿日期 : 2006 - 01 - 11 基金项目 : 同济大学理科科技发展基金资助项目 作者简介 : 马宁生( 1960 - ) ,男 ,湖北武汉人 ,副教授. E2mail : maningsheng2005 @163 . co m  量更多 、能量更高的电子. 电子从高能态 低能态 Em 时能量变化为 En - Em = hν En 跃迁到 子 ,造成新的雪崩.