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超精密位置感測與控制技術簡介 超精密定義 「精密」、「超精密」的定義 根據日本超精密定位專門委員會四年一度的問卷調查，現階段「精密」、「超精密」定位精度的分界線，似乎是在0.1(0.1微米)附近。另外，根據該委員會針對韓國、美國、歐洲各國的會議報告彙整後判斷，目前在超精密定位技術上，日本是居於領先地位。 超精密定位技術的應用 精密定位的構成要素 超精密感測器的分類 超精密定位與控制之應用範例 壓電效應的發現 壓電性 施應力於結晶 - 電氣分極 施電場於結晶 - 應變(逆壓電效應) 1880年居里兄弟 初期用途 測定Radium所放出的電荷(居里兄弟) 水深的量測(電波無法貫穿水面) 利用水晶之信號變換器 超音波裝置 音波濾波器 壓電元件於機械致動器之應用 壓電元件的特點 固體、體積小 能量轉換效率高 反應速度快 微小位移的可控制性 出力大 位移放大機構 - 1 位移放大機構 - 2 位移放大機構 - 3 方向改變機構 超精密 移動檯 粗微動複合式超精密 移動檯 具自走功能之加工機的工具檯 工具檯之要求條件 高分解能 高剛性 大行程 大出力 體積小 構造簡單 利用壓電衝擊力之移動機構 利用電磁衝擊力之驅動機構 衝擊力驅動機構 影響移動特性的因素 衝擊力驅動機構的特點與應用 特點 構造簡單 分解能達數nm程度 理論上行程無限 移動檯靜止時受靜摩擦固定，無須持續通電 斜面上或垂直面上均可使用 應用 微動檯(含真空用) 超小型放電加工機 超精密加工機真空夾頭上微細零件的定位 細胞穿刺機構 掃描式穿隧電流顯微鏡 CCD基座定位 … 衝擊力驅動機構的應用例 結語 壓電元件具可操控奈/微米定位之能力，為尖端機械技術不可或缺之元件。 利用壓電元件與其他機械元件相結合，可補足其缺點，並拓展其應用領域。 新型致動器的開發，乃基於對就行致動器的了解。 * 華梵大學機電工程學系 基礎課程名稱：微製造工程導論 微/奈米光機電高科技學程 Source：精密工學會誌，2001.2. Vol.67 華梵大學機電工程學系 華梵大學機電工程學系 掃描式穿透電流顯微鏡(STM) : 導體表面原子構造觀察、超高精度尺寸量測 原子力間顯微鏡(AFM) : 非導體或導體表面精度量測、表面加工 掃描式探針式顯微鏡(SPM) 硬碟機、DVD、雷射印表機(多面反射鏡、 感光滾筒) OA機器(Office automation) 進刀機構、超鏡面研磨加工，超應材料研磨、球面加工、非球面加工、凸面加工、半導體Wafer加工、光纖波導管 超精密加工機 露光裝置微動台(Stepper)、LIGA、微致動器及微感測器製作 半導體製程 Source：國科會精密儀器發展中心，超精密工程技術研習 劉永田 博士2002.3.14 華梵大學機電工程學系 接觸式；非接觸式 位移感測器 控制非線性摩擦因素對移動特性的影響(正逆向變換時的非線性彈簧特性)。主要手法包含：強健控制法：利用干擾觀測器預測推力的控制法、2自由度控制、Adaptive Control；完全追跡控制法；同時考慮定位控制與振動控制的最佳化控制法；PID控制法；智慧型控制器 控制方法 高導程滾珠螺桿 – 與線性馬達相抗衡之元件；直線導引滑道 – 利用深溝滾珠軸承展開成線性滾珠導引滑道，利用樹脂保持器；靜壓直線導引滑道 – 空氣或油，但最近為提高導引滑道的剛性，有針對以水代替油之研究 機械導引滑道及傳動元件 AC、DC伺服馬達，線性馬達(Linear Motor)，壓電致動器(Piezoelectric actuator)，油空壓驅動器，超磁歪元件等 致動器(Actuator) Source：國科會精密儀器發展中心，超精密工程技術研習 劉永田 博士2002.3.14 華梵大學機電工程學系 Source：國科會精密儀器發展中心，超精密工程技術研習 劉永田 博士2002.3.14 華梵大學機電工程學系 Source：國科會精密儀器發展中心，超精密工程技術研習 劉永田 博士2002.3.14 華梵大學機電工程學系 華梵大學機電工程學系 近期的應用領域 半導體製造裝置 信息產業相關裝置 掃描是穿隧電流顯微鏡(STM) 超音波馬達 彈性表面波裝置(SAW) 霧化器 感測器 … 華梵大學機電工程學系 1段式放大機構(槓桿原理) 2段式放大機構 Source：Zhenqi et al. “A Linear Piezoelectric Integrated by a Monolithic Flexural Frame”, Journal of Mechanical Design, Sep. 1997, Vol.119, pp 414-417 華梵大學機電工程學系