SEM 扫描式电子显微镜.doc

扫描式电子显微镜 (SEM) 扫描式电子显微镜, SEM, 应用范围, 主要附件, FEG-SEM 扫描式电子显微镜最早是由德国人 Von Ardenne 在 1930 年发明，并于 1965 年正式在英国发售。扫描式电子显微镜的解像力是介于光学显微镜与穿透式电子显微镜之间，其成像原理是利用一束具有 5～30 KV 之电子束扫描试片的表面，并将表面产生之讯号 (包括二次电子、背向反射电子、吸收电子、X 射线等) 加以收集经放大处理后，输入到同步扫之阴极射线管 (CRT)，以显现试片图形之影像。 　　由于电子显微镜观察需在高真空环境下进行，潮湿或易挥发之物质会妨碍高真空之维持，所以为了避免标本所含的水份、流质在高真空下挥发而影响观察，所以必须先将样品作固定、脱水等处理；一般采用临界点干燥法来作样品的前处理，因为非导电性标本会因电荷累积于试片表面无法去除，产生排斥力，使电子束受到干扰无法进行观察，同时为了避免标本在电子束扫描时因高温而遭破坏及增加二次电子的产生来得到更清晰的影像，必须在标本的表面上覆盖一层金属或碳的薄膜。为了避免电子束在照射到标本表面之前与残留的气体分子相撞，所以扫描式电子显微镜必须保持在一定高真空度环境下。一般而言，电子显微镜必须维持在 10-4 至 10-6 Torr 的真空度内，真空度低会损伤灯丝 (钨丝) 的正常使用寿命。 　　扫描式电子显微镜应用范围非常之广泛，也很普遍的使用在非导电性样品的观察上。如生物 (种子、花粉、细菌……) 医学 (血球、病毒……)、动物 (大肠、绒毛、细胞、纤维……)、材料 (陶磁、高分子、粉末、环氧树脂……)、化学、物理、地质、冶金、矿物、污泥 (杆菌)、机械、电机及导电性样品如半导体 (IC、线宽量测、断面、结构观察……)、电子材料等。主要附件有 EDX (化学元素定性、定量和分布影像分析) 及 EBSD (背向散射电子绕射分析)。FEG-SEM，在光源和透镜系统的改良有更佳的表面形貌影像分辨率，加上 EDX 可作微区成份分布的分析，及 EBSD可由背散射菊池图作微区晶体结构和晶相的分布分析。另外，为避免对超高真空造成污染，样品则不得为高挥发或磁性粉末材料。 样品台角度是怎样影响图像效果的 这星期做了一个关于影响SEM成像效果的实验，老师让我们把各因素影响效果的原理写在报告里，其中一个就是tilt angle，老师给了一个提示说是与escape path也就是逃逸路径有关，但我还是不太懂，请教一下各位前辈电子逃逸路径的定义和它是怎样影响图像果的，非常感谢！！ 電鏡裡有個Tilt Angle 補償, 你把這個功能打開比較一下, 就容易理解了. 扫描电镜使用体会 转帖 扫描电镜, 使用, 体会 做扫描电镜不算时间太长，中间由于就在操作上花功夫，所以理论功底可以说很浅，那么就自己做的过程中一些感受谈一下。我们用的是Philips的钨灯丝扫描电镜，型号XL30。能谱配了Oxford的Link ISIS系统。另外配备了加热台和背散射探头。? ? 由于是赶鸭子上架的那种，所以刚开始接触电镜，不是特别有兴趣研究，把说明书看了个遍，总算是对整个系统的操作和基本维护有了感觉。不过加上加班加点的做样品，也就慢慢觉得这是一个机械操作的活，没有多少技术含量，也就是中间找到一些比较新奇的形貌，会增加一些乐趣。但总体上的感觉就是拉工作距离，聚焦消象散，扫描成像，存储刻盘。或许在做EDX的mapping时才能有比较长的休息时间，其他的时间都被样品包围几乎喘不过气来。? ? 这些训练还是有必要的。想来有以下几个方面：? ? 其一，philips的软硬件结合比较扎实，操作比较方便。自动对焦消象散，自动对比度等等。但是自己动手去学习聚焦消象散的感觉，尤其是高倍率照片的拍摄，尤其需要自己的感受，这种训练在我以后从事TEM操作的过程中受益不少，因为感觉只能靠经验得到，这就大大降低了我学习TEM高倍率消象散的难度。? ???其二，多看样品对于了解一些基本的形貌特征有了深刻的印象，基本上来的样品一说是什么材料就能知道找什么样的形貌特征，这也对以后的TEM的选择样品和形貌有了有利的促进。? ? 其三，处理样品观测中间出现的特殊情况，比如样品是易损样品，那么要注意物镜光阑被污染，扫描过程中样品形貌的突变，这时候要调整工作距离到15 mm左右，并且要降低电压，扫描时间要缩短等等。或者样品的导电性能不佳，就要调节电压到小于5kv，才能达到消电荷的目的，还有一些很细的粉末样品，就要多喷金，虽然有些影响形貌，但总体上能减少对物镜光阑的污染。另外，对碳纳米管的观测，也有比较好的方法，一般来说很细的纳米碳管是无法用钨灯丝电镜看清楚的，但是可以通过降低电压，在硅片上的碳纳米管就因为导电性能好而信号加