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【精选】扫描探针显微镜的最新技术进展及应用
19 1 电 子 显 微 学 报 V ol-19, N o. 1
2000 2 Journal of Chinese Electron Microscopy Society 2000-02
: 1000-6281( 2000) 01-0069-0075
赵清亮 王景贺 李 旦 董 申
( 哈尔滨工业大学精密工程研究所, 哈尔滨 150001)
: 本文 讨论 SP M 基本原理和应用的基础上, 详细介绍了近期 SPM 的最新技术进展和成像
模式以及拓展的应用领域, 使我们能对SP M 有 一个全新的认识和了解, 以便把它们更好地应用到研
究领域中。
: 扫描探针显微镜; 原子力显微镜; 表面应用; 成像原理; 工作模式
: T N 16 : A
( SP Ms) , Binnig Roh e
[ 1]
1982 SP M ,
SPM ,
[ 2]
100 1986 ( A F M ) ,
ST M A F M ( ST P)
( BEEM ) ( SICM ) ( ST hM )
[ 3]
( PST M ) ( SNOM ) , SPM ,
A FM SFM ( ) -
, ,
( A FM ) ( L FM ) ( M FM )
( EFM ) , SFM , ( Fo ce
M odulat io n) ( Phase Imaging) ,
SPM
SPM
1. ( Force Modulation Microscope)
FM M L F M( )
M F M ( ) , F MM FM M
, , A FM , Z
,
, , 1
F MM ,
kHz , , ,
,
( )
: 1998-10-20; : 1998-12-25
19
70
, ,
,
, ,
1 2
F ig . 1T he amplitude of cantilev e o scillation va ies F ig . 2 T he phase lag v a ies in esponse to
. .
acco ding to the mecha nical p o pe ties of the su face the v isco ela st icity of a sample s su face
2. ( Phase Detection Microscope)
, , 2
A FM MF M , F M M
,
(
) ( ) ,
,
[ 4]
, , ,
L FM
, , SFM
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