直拉硅单晶工艺简介.pptVIP

断水处理 要点: 单晶炉因缺水某些部分温度升高，温度升高厉害只有停炉，千万不能突然通水，水遇高温后立即汽化，体积突然膨胀，可能出现爆炸事故。单晶炉加热时间不长，温升不高时，可以快速大量通水，待炉温正常后，再调整水压。 异常处理 石英坩埚裂开或漏硅处理 石英坩埚在不正确的装料或本身质量问题或使用时间过长都可能会出现漏硅现象. 观察炉内硅液面有明显下降，炉压有明显回升现象或碟阀开度有明显增加现象，即可能漏硅。 立即关闭加热功率. 快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面150mm。 将控制面板转为手动状态。 关闭埚转。 尽量开大氩气流量,增加炉内压力.保持炉内氩气的流通. 在熔体结晶15分钟时，如有可能，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流筒至少100mm。 停炉，充分冷却后拆炉。 异常处理 石墨坩埚裂开处理 石墨坩埚在使用炉次过多或使用不当的情况下会在运行过程中自身裂开。 石墨坩埚裂开发现不及时会导致严重的漏硅事件.石墨坩埚裂开主要现象为埚转打开后，液面晃动异常严重，观察电流有跳动现象，即可能石墨埚破裂。 立即关闭加热功率。 调节单晶炉控制面板使其处于手动状态。 关闭埚转。 快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面150mm。 在熔体结晶15分钟时，如有可能，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流筒至少100mm。 停炉，充分冷却后拆炉。 异常处理 整个炉区断水断电处理 整个炉区断水断电一般为配电房供电系统出现故障.此时现场人员最主要的是不能慌.依照应急预案听从指挥.派专人监视水电恢复情况,一旦恢复及时通知指挥人员.工艺操作人员有针对性的监视所看炉子的运行情况.发现异常及时处理. 快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面150mm。 无UPS则需手动将埚位摇下. 关注备用水水压及炉体温度情况. 依照断水﹑断电处理方法处理. 保证晶体与液面分离. 晶体与液面未分离 异常处理 注意事项 在装完料抽空检漏时，真空泵开启，应先开真空泵电源，再开球阀；关闭时，应先关球阀，再关真空泵电源。切记不要将顺序记反，避免回气污染原料。 进行晶升埚升快速时应当时刻注意炉内情况，避免液面碰到导流筒、重锤熔化等事故。 加热时若出现打火现象（电流突然变大，电压减小）计算机会加热器异常报警，此时请将加热功率降到最小，后关闭加热。然后重新升功率并注意观察。若出现两次以上打火，请停止加热。拆炉检查。 大清炉台时应当检查石墨件是否有破损或裂纹现象，若有应当及时更换。 异常处理 注意事项 装好石墨坩埚后，开起埚转，看有无转动偏心、碰其它石墨器件等情况，若有应及时调整以防对拉晶造成影响. 在取晶棒时，细籽晶处应当用钳子剪断，严禁敲打籽晶，避免因籽晶受力产生微裂痕导致断裂的事故发生 . 取棒时晶棒升到副室后，将翻板阀关闭、副室下边的防护钢板移到晶棒正下方，副室移动一定要缓慢,以防晶棒在副室内碰撞导致籽晶断裂。待晶棒稳定后再取出，晶棒下方严禁站人，避免人员伤亡等。 在化料过程中应注意观察炉内情况，若料有所下降，应及早打开埚转，并根据炉内的料位及时调整埚位，以防止石英坩埚长时间高温导致变形情况发生。 异常处理 注意事项 在收尾过程当中应当密切关注炉内情况，防止因料少温度低造成结晶粘住晶棒，钢丝绳断裂的事故发生。 单晶炉膛漏水会使单晶氧化，严重影响单晶质量。漏水和漏真空现象有些相似，一般情况泵抽不到需要的真空度，有时漏水也能抽到需要的真空度，但加热熔硅时真空度会突然下降。漏水的明显特征是单晶产生氧化，单晶颜色发白。寻找漏水点，首先把炉膛擦干净，关闭炉门，通冷却水，抽真空，然后打开炉门，在灯光照耀下，仔细检查，出现水珠处就是漏水点，用氦气质谱检漏仪能迅速准确检查出漏水点。 异常处理 注意事项 液体流出时，如果使用粉末灭火器，可能导致所有的驱动部以及传感器被粉尘污染继而报废。一般来说，即使有液体流出，在没有着火的前提下，让其自然冷却是最好的.如果着火最好是使用CO2灭火器. 异常处理 谢谢! 课程结束语 * 停电 一、单炉停电 1、单炉整体断电UPS 供电 2、单炉整体断电UPS不供电 3、单炉局部断电电源柜断电 4、单炉局部断电控制柜断电 二、集中停电 1、短暂停电，水正常 2、集中短停电短停水 3、集中短停电长停水 4、集中长时间停电备用水供 5、集中长时间停电停水 现象：1、报警灯闪烁与报警声。 2、加热器电源关闭。 3、操作界面显示正常