改性剂对旋转法犁犻犗2减反膜均匀性的影响-强激光与粒子束.PDFVIP

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２２ １２ Ｖｏｌ．２２ Ｎｏ．１２ 　 　 年 月 ， ２０１０ １２ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｄｅｃ． ２０１０ 　 　 文章编号： （ ） １００１４３２２２０１０１２２８６５０６ 　 改性剂对旋转法犛犻犗２减反膜均匀性的影响 杨 伟， 李海波， 张清华， 马红菊， 惠浩浩， 刘志超， 马 平 　 　 　 　 　 　 　 　 （成都精密光学工程研究中心，成都 ６１００４１） 摘 要： 分析了采用旋转涂膜法制备溶胶 凝胶 减反膜过程中条纹缺陷产生的机理，利用含氟醇类  ＳｉＯ 　　 　 　 ２ 试剂对减反膜溶胶进行改性，使溶胶链段柔顺性及流动性得到改善。在光学显微镜下对改性前后的膜层进行 了对比和分析，对膜层的表面形貌、表面粗糙度以及透射比等特性进行了表征。结果表明：溶胶改性之后的膜 层未出现条纹缺陷，表面粗糙度均方根值从 ４．５５ｎｍ下降到小于 １．００ｎｍ，膜层表面质量有了较大提高；改性 前后膜层的增透性能相当，在熔石英基片上制备的膜层峰值透射比为 ９９．６０％ ９９．８９％，膜层激光损伤阈值 ～ ２ 为 ／ 。 ２１．０ ２５．３Ｊｃｍ ～ 关键词： 旋转涂膜； 条纹缺陷； 溶胶 凝胶； 减反膜； 含氟醇  　　 　 　 　 　 　 中图分类号： 文献标志码： ： ／ Ｏ４８４．４ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＨＰＬＰ２８６５ 　　 　 　　　　 　 　　 晶体元件在激光装置中承担频率转换任务，是极其重要的光学元件。对于混频晶体，需要兼顾双波长工作 　　 的光谱特性，才能最大程度地减少激光能量的损耗，保证系统的运行效率。鉴于此，混频晶体的前后表面需涂 制不同种类的减反膜，以实现激光频率转换过程中各工作波长最大透射比的指标，满足激光器设计的要求。目 前，国内主要采用提拉涂膜方式制备大口径晶体元件的减反膜，在元件两面只能涂制相同膜层，这在很大程度 上限制了激光器的运行效率。而旋转涂膜法可以在元件两面涂制不同的膜层，具有制作工艺简单、制备时间短 ［］ １ 等优点 ，并且涂膜所需的溶胶用量少，这可降低溶胶合成的压力，有利于高功率激光装置元件涂膜效率的提 ［］