沉积在液体衬底上连续铝薄膜的微观结构!-物理学报.pdfVIP

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2018-10-12 发布于天津
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沉积在液体衬底上连续铝薄膜的微观结构!-物理学报

第卷第期年月物理学报，，， (* $### FGH(*2G2GIJ:KJL$### ／／（）／ ###A!$*#$###(* $$!)A#) B0CB5DE730B73230B !$###0M8N5MP7G9 O ############################################################### 沉积在液体衬底上连续铝薄膜的微观结构! 陶向明曾耀武冯春木焦正宽叶高翔（浙江大学物理系，杭州） !##$% （年月日收到） $### ! $! 研究了沉积在硅油衬底表面的连续铝薄膜的微结构及其表面形貌与沉积在单晶硅表面的铝薄膜相比，两种铝薄膜均属颗粒结构，但硅油表面的铝薄膜具有颗粒尺寸较小、大小不均匀，表面起伏较大等特点，而且在该铝薄膜边缘的下表面，有一明显的波纹状楔型结构，其斜率仅为 ’( ’) — 实验结果表明：这一现象是由于液体衬底 # # 的热膨胀行为引起的此外对样品的晶态也进行了研究关键词：铝薄膜，液体衬底，微观结构：， !## ,%)) ,,- 的成膜机理引言 $ 实验方法薄膜衬底特性对薄膜微观结构和生长机理起着［— ］很重要的作用 ! 例如，在一定条件下，沉积在固样品用真空蒸发方法在室温下制备而成先将体衬底上的金属薄膜呈粗糙表面结构，且具有无规一小滴纯净的扩散泵硅油（，室 -./ 0.12324+#) ［］ ( ’% 自相像特征对于较厚的薄膜，薄膜表面的粗糙温下其蒸气压小于）置于抛光硅晶体［ # 56 78 结构可以忽略不计，因为它不会明显影响薄膜的整（）］的表面，作为样品的液体衬底再将液体衬底体物理特征然而对于非常薄的薄膜，薄膜表面的垂放入真空室内，水平固定在蒸发源上方为了保证在