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几何量微纳米级精密测量技术研究的若干新进展 叶孝佑 高思田 2006-09-12 报告提纲 前言 一维微纳米级长度尺寸测量 二维微纳米级坐标测量 微型坐标测量机 纳米尺度计量 结束语 前言 20世纪末至21世纪初，精密、超精密制造（加工）的精度水平向微米和纳米级发展。发达国家的计量院对基标准的研究是长期和连续不断的，而且投入很大，如美国的标准与技术研究院（ NIST）、英国的物理研究所（NPL）和德国的物理技术研究院（PTB）。在亚洲，日本的NIMJ、韩国的KRISS近几年在微纳米测量技术研究方面发展也非常迅速，步入了世界先进水平行列。在我国，中国计量科学研究院一直坚持不断地研究，近年来取得的一些科研成果也达到了世界先进水平。 1. 一维微纳米级长度尺寸测量 在集成电路工业领域，由于在一片光学掩膜板上集成的电路越来越多，需要研究其几何特性，因此必须提升长度测量系统的不确定度，目前，对7＂掩膜板的结构距离测量的重复性达到了3 nm，溯源到长度单位的不确定度水平达到的电路制造水平约30nm。 在机械工程领域，对长度测量系统不确定度的要求越来越高，特别是在长度测量系统中对短周期长度测量偏差的不确定度要求更高（例如，对光栅尺的测量）。 1. 一维微纳米级长度尺寸测量 德国：PTB 1. 一维微纳米级长度尺寸测量 中国：中国计量科学研究院 2. 二维微纳米级坐标测量 为了解决在集成电路、仪表、机械制造、塑胶等工业测量中广泛应用的 非接触坐标测量机及测量显微镜的校准和溯源，工业发达国家在近十年 来纷纷研制了高精度二维线纹标准器及其标准装置，其测量范围达到 600mm?600mm，测量不确定度达到10～300nm。与一维微纳米级长度尺 寸测量相比，其引用的关键技术除了上述的激光测长和瞄准定位外，还 需要考虑进行两维测量的平面参考镜的制造测量和安装调整。平面参考 镜的直线度、平面度和两个平面镜正交性是主要的测量误差来源。 2. 二维微纳米级坐标测量 德国PTB: 二维微纳米级坐标测量装置 测量范围 : 280 mm ? 280 mm 测量不确定度: 35nm（3σ） 扫描电镜头定位的二维测量系统 测量范围 : 300 mm ? 300 mm 测量不确定度: 5nm 2. 二维微纳米级坐标测量 瑞士METAS研制的掩膜板测量仪 用于校准掩膜板表面的结构，测量范围达到400mm?300mm。仪器由具有空气轴承的XY位移台组成，两轴的平面反射镜干涉仪测量位移台的位置，用数字视频显微镜系统瞄准定位，对于短周期的测量重复性3nm(1σ)。 2. 二维微纳米级坐标测量 韩国计量院（KRISS） 2. 二维微纳米级坐标测量 瑞士METAS研制的掩膜板测量仪 用于校准掩膜板表面的结构，测量范围达到400mm?300mm。仪器由具有空气轴承的XY位移台组成，两轴的平面反射镜干涉仪测量位移台的位置，用数字视频显微镜系统瞄准定位，对于短周期的测量重复性3nm(1σ)。 美国NIST和英国NPL 研制了用于在掩膜板表面结构测量的装置，其测量不确定度≤20nm 中国计量科学研究院正在启动研制的激光两坐标测量装置 测量范围 : 350mm×350mm 3. 微型坐标测量机 主要用于测量超精密、极小零部件 涉及的应用范围有： 精密机械方面： 微电机、精密轴承、导向系统、手表、微型机电系统（MEMS）； 光学工程方面： 光学零件测量； 其他领域： 医学领域的镶牙技术、输液细管；如整形技术、模具制造、汽车自动加油器、磁盘驱动器的基板部件、半导体器件封装等。 微型坐标测量机的关键技术 主要是框架结构设计和测头设计。 在框架结构设计中主要考虑以下几方面：械机构的热稳定性、测量中结构变形的影响最小、最小阿贝误差、好的坐标参考点、足够的硬度等。 在测头设计中主要考虑以下几方面：小半径、小探针、高硬度、低测力、低运动质量、高稳定性、高分辨力和低噪声等。 国家计量院中的 微型坐标测量机 英国NPL 国家计量院中的 微型坐标测量机 德国PT