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近代自动化光学检测技术发展趋势
自動化光學檢測發展趨勢(Automated Optical Inspection, AOI) 范光照 教授 台灣大學機械系 (2006) 領域重要性及未來發展 近年來由於新興產業之興起,如IC、PCB、LCD、BGA、光通訊等等,必須做到百分之百的全檢,少數廠商已開始致力於精密量測系統之發展。然而,大多數仍歸屬於電子儀器類。除了電性檢驗外,外觀及表面瑕疵檢測也是必須項目,AOI設備的產業時代顯然已經來臨,它具有以下特質: 使用者:不影響線上製程、新興產業少不了它、價格昂貴、絕大部分進口、維護更新不易。 製造者:需要高進入技術門檻,產品少量多樣,光-機-電-資訊技術整合,人才取得不易,附加價值高。 研究單位:具有設備研發人力與技術。 學術單位:具有影像處理研發能力。 AOI定義(廣義) 廣義的AOI設備為結合光學感測系統、訊號處理系統及分析軟體,應用層面可有: 宇宙探測:太空計畫。 遙測:航空遙測、衛星遙測。 生物醫學:X射線成像、同位素成像、超音波成像。 工業生產:生產品質檢測。 軍警:指紋比對、字形辨認 (筆跡)、人像比對、文件識別。 機械視覺:機器人控制、無人駕駛汽車。 多媒體技術:AOI教學、美工廣告、大眾傳播。 The importance of viewpoint AOI定義 (狹義) 狹義的AOI設備為目前急需於工業上使用的,如: IC及一般電子業:PCB、BGA、LCD螢幕、被動元件形狀腳位及定位、生產插件、晶元(Wafer)鏡面研磨、生產組裝、被動元件辨識 MEMS 元件 機械工具/自動化機械:零件尺寸、外形、瑕疵檢測、零件分類比對、裝配定位、加工定位、熔焊檢測 電機工業:控制器紅外線熱像儀檢測、電線瑕疵、裂縫檢測、纜線配置檢測 金屬鋼鐵業:鋼板尺寸檢測、表面瑕疵檢測、鑄件瑕疵檢測、材料金像檢測 橡膠/塑膠製品:保特瓶口尺寸檢測、製品顏色分類檢測 食品加工/包裝業:瓶內液位高度、異物或灰塵檢測、包裝印刷辨識、打印字形及零件編號檢測與識別 紡織皮革工業:表面針織紋路檢測、色差檢測、皮革表面特性檢測 汽車工業:陶軸裁切定位、零件塗黃油檢測、白車身檢驗 家電/辦公:產品外殼印刷檢測、1維/2維條碼辨識 保全/監視系統:人像特徵辨識、指紋辨識等 範例(三) 逆向工程 範例(四) 白光干涉儀 AOI全球需求市場預估 兩兆產業之檢測設備市場 AOI國內需求市場預估 2006年AOI需求產業別 國內外廠商差異比較分析(2) AOI產業技術發展趨勢 AOI技術魚骨圖(2D) AOI技術魚骨圖(3D) 國內AOI論壇推動里程碑 89年11月 儀器產業發展論壇(光電/微機電,約50 人) 90年12月 AOI論壇I + 通訊測試論壇(共約100人) 91年05月 AOI論壇II(2D/3D/光通訊三組,共約150人) 92年10月 AOI論壇III(共約180人) 93年3月 AOI聯盟正式成立, 會長:徐章 副會長: 范光照 93年10月 AOI論壇IV(共約280人, 發表論文36篇,十數家參展) 94年4月 AOI聯盟年度大會 94年10月 AOI論壇V(共約350人, 發表論文55篇,十數家參展) AOI聯盟加入的會員已逾 1000人 .tw AOI聯盟(2004.3.29成立) 採用國產AOI設備的優點 AOI儀器系統組成 照明系統---光源選擇 取像系統---鏡頭、CCD(LineArea)、影像擷取卡 機電控制系統---照明、取像曝光、定位平台 影像處理與分析—影像前處理、3D重建、圖形辨識(Pattern Recognition)、瑕疵分類、瑕疵驗證(Verification) 國內廠商技術---系統整合,缺自有軟體 AOI設備規格需求(PCB 2D Inspection) Example: Orbotech Spiron PCB Defect Classification TFT-LCD截切面圗 LCD Process and AOI LCD檢測設備與分類 薄膜電晶體面板缺陷示意 薄膜電晶體製程之缺陷 C/F的瑕疵分類 Color Filter之缺陷 Color Filter內層版檢查機架構圖 G6檢查機3D設計圖 G7.5 Mask AOI Machine Mask Inspection and Subpixel Edge Detection 重點發展策略 產業急需主要設備 AOI設備需增強功能(調查整理) TFT/LCD 未來AOI檢測需求 人才培訓建議 政府規劃推動策略 學界研
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