某薄膜太阳能电池生产厂空调净化设计简介.docxVIP

某薄膜太阳能电池生产厂空调净化设计简介廖雪江*深圳奥意建筑工程设计有限公司摘要简要介绍了薄膜太阳能电池厂的生产工艺流程、空调净化及自控系统的设计方案。关键词风机过滤器单元；净化空调；新风集中机组；循环机组；控制系统IntroductiontoCleanAir-ConditioningDesignforaFilmSollarCellManufacturerLiaoXuejiangAbstractThedesignwasbrieflyexplainedofprocessflow,cleanair-conditioningandautomaticcontrolsystemforafilmsolarcellmanufacturer.KeywordsCleanair-conditioning;Make-upairhandlingunit;Circulationairhandlingunit;Controlsystem1薄膜太阳能电池生产厂工艺简介随着能源危机与环境污染的日趋严重，开发本项目采用尺寸为1100mm×1400mm的玻璃基板进行加工，太阳能电池模组的稳定光电转换效率将达到7%~9%。基本工艺流程为：原料（玻璃基板）→基板载入→刻号机→激光蚀刻→清洗机→化学沉积PE-CVDSystem→激光蚀刻（a-Si）→物理沉积SputteringSystem→激光蚀刻LaserPatteming（back-sidemetal）→激光蚀刻LaserPatteming（edgescribinginsulation）→清洗机→检测机→打线机→封装→成品。1.2薄膜太阳能电池生产厂各生产工序室内环境控制要求详见表1。可再生清洁能源成为国际范围内的重大战略问题之一，开发利用太阳能成为世界各国可持续发展能源的战略决策。本项目生产的产品是非晶硅薄膜太阳能电池，它是在已镀透明导电膜的玻璃基板上用化学气相淀积的方法先淀积一层N型非晶硅，再淀积一层未掺杂的i层，然后再淀积一层P型非晶硅，最后溅射一层透明电极。此种制作工艺，可以采用一连串沉积室，在生产中构成连续程序，以实现大批量生产。1.1薄膜太阳能电池生产厂生产工艺流程表1薄膜太阳能电池生产环境控制要求22.1空调系统冷热源新风集中处理机组（MAU）、*廖雪江，男，1978年8月生，本科，工程师518031深圳市华发北路30-mail：liaoxuejiang@ae-design.cn收稿日期：2011-2-28降温空调机组（AHU）及空调循环机组（RCU）所用的冷媒为7℃~12℃的冷冻水；新风集中处理机组（MAU）洁净与空调技术CCAC2011年.52.滤，温度、湿度处理后送入送风静压箱内与洁净室内循环回风混合。新风集中处理系统的处理流程为：新风入口→粗效过滤器过滤→初级表冷→二级表冷→加热段→电加湿→风机加压→中效过滤器过滤→高效过滤器过滤→送风静压箱内与洁净室内循环回风混合。及降温空调机组（AHU）所用热媒为38℃~32℃的热水；洁净区新风集中处理机组（MAU）初级冷盘管、洁净区循环空气处理干冷盘管（DRYCOIL）所用冷媒采用15℃~20℃的冷冻水；加湿方式为电热式加湿器。2.2空调系统根据生产工艺的要求相应设计了净化空调系统、恒温恒湿空调系统、降温空调系统及直流空调系统。2.2.1主厂房中的洁净生产车间为工艺生产的关键区域，洁净度要求较高，粒子数最高要求为≤10000颗/ft3（对于0.5ìm粒径）。该区域建筑上分为2层，上层为送风静压箱，吊顶由风机过滤器单元（FFU）+金属吊顶框架组成，下层为工艺生产区。该区域采用送风静压箱+吊顶上安装的风机过滤器单元（FFU）顶送风，沿结构柱或侧墙设置的回风夹道回风，工作区气流组织形式为顶送下侧回。洁净室内循环回风经过安装于回风夹道内的干冷盘管（DRYCOIL）进行降温处理后与新风混合，再送至室内，其原理图见图1。2.2.2主厂房中的洁净生产车间设置单独的新风集中处理系统。新风经粗效、中效、高效过滤器过2.2.3主厂房中的非洁净生产车间空调系统采用新风集中处理（MAU）加空调循环机组（RCU）。室内回风经粗效、中效过滤、冷却处理并与新风混合后送入室内，其原理图见图2。2.2.4根据工艺的要求，化学药品储存、气体储存、供给室等房间设计了直流式空调系统，送入的空气全部排至室外。新风经粗效、中效过滤器过滤及温度处理后送入使用房间内，空气处理系统的处理流程为：新风→粗效过滤器过滤→中效过滤器过滤→表冷→风机→使用房间，其原理图见图3。2.2.5变配电室设置柜式空调器接送风管送风（供15℃冷冻水）和通风系统，过渡季节可以全新风运行,其原理图见图4。2.2.6办公区、休息区、餐厅区域设计了降温空调系统。系统组成为新风集中处理+吊顶安装风机盘管或吊