气体用专业技术.docVIP

气体用专业技术 一、概述 QA(quality assure): 是一个质量控制过程,保证后期的QC工作能够顺利、及时的完成．? ? 包括: ①焊道? ?? ?? ? ②规范? ?? ?? ???③美观? ?? ?? ?? ? QC(quality check):检查管路的质量是否符合业主的规范. 包括: ①正确性检查? ? ②安全性检查? ???③品质性检查 二、QA作业 1.? ? ? ? 焊道是否标准(氧化、渗透度、均匀、错位、凹凸、偏焊……) 2.? ? ? ? 是否按图施工(Source位置、管材、接头) 3.? ? ? ? 焊道是否刷干净 4.? ? ? ? 管路是否垂直 5.? ? ? ? 倍弯是否符规 6.? ? ? ? support是否得当,panel管夹、螺丝是否安装得当 7.? ? ? ? 标签是否粘帖正确、整齐 三、QC作业 (一) 图面确认 核对Layout图与现场管路气源stick 、T.O.V编号、panel数量、Tie in点是否相符． (二)正确性检查 寻找合适的PN2接入管路源点，如果机台端对应点有气体则说明管路配置正确． 注意：１．PN2量要大 ? ?? ?２．通气之SUS TUBE管要保持洁净． ３．源点人员与机台端人员保持通讯顺畅. ? ? （三）安全性检查 ? ?由于晶圆制造过程中使用各种Toxic、Flammable、Corrosive、Inert等气体，这些气体一但发生外漏将会危及现场人员的生命和损坏价值昂贵的设备，所以要对气体管路进行安全性测试，特别是焊道与接口处。 方式：A：保压测漏? ?? ?? ?? ?B：HE测漏? ?? ? A：保压 ? ?往待测管路中灌入较高压力的制程氮气来检查焊道接头能否承受高压而不外漏。 程序：① 准备合适的接头、SUS TUBE、工具及无自漏无误差之RECORDER A：保压 ? ?往待测管路中灌入较高压力的制程氮气来检查焊道接头能否承受高压而不外漏。 程序：① 准备合适的接头、SUS TUBE、工具及无自漏无误差之RECORDER ② 就近寻找合适之PN2 ③ 连接气源、待测管路、RECORDER ④ CAP出口端，打开Panel上DiaV、REG，使待测管路形成一个密闭之回路 ⑤ 打开气源灌入120-130psi气体，关闭气源。 ⑥ 目视RECORDER约十分钟，如有外漏则找出原因解决之。 ⑦ 保压规定之时间后如无外漏则取出保压纸，填写LD，形式如下： ? ?ID： START：? ?DATE：? ?? ?? ?? ???STOP：? ?DATE： ? TIME：? ?? ?? ?? ?? ??TIME： ? PRESSURE：? ?? ?? ?? ?? ?? ? PRESSURE： GAS： TESTED BY： 注意：① RECORDER接入位置为上游端，防止REG、CV的单向性影响最终准确度。 ② 并联或串联管路时尽量使用VCR接头。 ③如发生外漏,不准用SNOOP检查special gas接头焊道。 ④灌气时应徐徐开阀，防止表针打坏。 ⑤所灌气体压力应小于保压计最高允许值。 ⑥管路应脱离其主系统，防止倒灌之情形发生。 B：HE测漏 由于氦气分子具有小、活跃、不易吸附、无危害等特点，所以用氦气来作为测漏的气体。将待测管路抽至高真空状态，当达到业主要求之漏率时，用氦气喷在焊道或接口上，若氦机显示无上升反映，则测漏完成。反之则进行排除问题。 程序：① 寻找合适之电源供测漏仪使用 ② 连接待测管路与氦机。 ③ POWER ON暖机直至数据显示 STAND BY。 ④ 自抽确认机器无外漏。 ⑤ 管路抽至1.0*10-9sccm/s以下后进行喷氦气动作。 ⑥ 如有外漏则通知现场监工进行实时处理，而后再次确认该处无外漏。 ⑦ STOP → VENT → 离线 注意：① 所测之并联管路不宜过多,否则会增加测漏时间和发生误判漏点的情形. ② 考虑到CV、REG的单向性,应该把氦机置于管路下游端． ③ 测漏完成后应静机5分钟后再移机． ④ 喷氦气时按照由近而远、由上而下的原则. ⑤ 视管路粗细、长远，每喷一口焊道应等待一段时间后再喷下一口焊道. ⑥ 喷氦气时气量尽可能小. ⑦ 当两焊道很近而无法判断时应借助PV手套包裹后进行确认. ⑧ 当氦机功率很大而波登压力表较精密时应把压力表拆下后进行检漏动作. ⑨当管路Tie??In 后，机台都要Pump??Down，采用Negative pressure方式来最后确认整个供气系统的密闭性能。通常受MFC影响，Pump??Down 需一天一夜或更长时间，有时因时间不够长而误判我们管路有漏，故有此情形应当找设备厂商协调解决。 ⑩PE（入口端压力）单位是mbar。例如：PE=3.7*10-3mbar,意思就