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Modern Analytical Instruments and Technology for Materials 扫描电镜 成像原理 第一节 电子束与固体样品 作用时 产生的信号 背散射电子  Backscattered electron 背散射电子用途 2. 二次电子 Secondary Electron 二次电子用途 形貌分析 电子来自表层5-10nm的深度范围内发射出来，对样品的表面形貌十分敏感。 二次电子产额和原子序数之间没有明显依赖关系，不能用于成分分析 3. 吸收电子 Absorbed Electrons 若样品较厚，入射电子进入样品后，经多次非弹性散射能量损失殆尽而被样品吸收。 吸收电子用途 微区成分分析 当电子束入射一个多元素的样品表面时，由于不同原子序数部位二次电子产额基本相等，则产生背散射电子较多的部位其吸收电子的能量较少，反之依然，因此，吸收电子能产生原子序数衬度 4. 透射电子 Transmited Electrons ? 入射电子穿过薄样品 ? 取决于微区厚度、成分和晶体结构 ? 微区成分分析 第二节 扫描电镜的构造和工作原理 一、电子光学系统 1. 电子枪 Electron Gun 2. 电磁透镜 Electron Lenses 3. 扫描线圈 Scanning coils ?扫描线圈作用 使电子束偏转，并在样品表面作有规则的扫动。 ? 扫描方式 ? 光栅扫描 （相貌分析） ? 角光栅扫描（电子通道花样分析） 4. 样品室 Sample chamber ? 主要功能： ? 放置样品 ? 安置信号探测器 ? 辅助功能（附件）： ? 加热和冷却试样 ? 机械性能试验 二. 信号的收集和图象显示系统 三. 真空系统 Vacuum ? 保持光学系统 正常工作； ? 防止样品污染 ? 真空度 1.33?10-2 --- 1.33 ?10-3Pa 第三节 主要性能 一. 分辨率 扫描电镜分辨率与检测信号种类有关 影响扫描电镜分辨率的三大因素 电子束的束斑大小 检测信号的类型 检测部位的原子序数 SEM分辨率测定方法 在已知放大倍数（一般在10万倍）条件下，把在图像上测到的最小间距（两个颗粒或区域）除以放大倍数所得数值就是分辨率。 二. 放大倍数 M = AC / AS AS: 电子束在样品表 面扫描幅度； AC: 在荧光屏上阴极射 线同步扫描幅度。 第四节 表面形貌衬度原理及其应用 一. 二次电子成像原理 ? 主要用于分析样品的表面形貌； ? 二次电子数量和原子序数没有明显关系； ? 二次电子对样品表面的几何形状十分敏感。 二次电子成像原理图 第五节 原子序数衬度原理及其应用 1. 背散射电子形貌衬度特点 The generation region of backscattered electrons is larger than that of secondary electrons, namely, several tens of nm. Therefore, backscattered electrons give poorer spatial resolution than secondary electrons. But because they have a larger energy than secondary electrons, they are less influenced by charge-up and specimen contamination. 2. 背散射电子原子序数衬度原理 ? 背散射电子的产额与原子序数密切相关 在原子序数低于40范围内，原子序数越高，背散射电子产额越大，图象越亮，反之亦然 定性成分分析。 二.吸收电子成像 ? 吸收电子的产额与背散射电子产额相反 样品的原子序数越小，背散射电子越少，吸收电子越多，反之样品的原子序数越大，背散射电子越多，吸收电子越少。 背散射电子衍射分析及其应用 X射线衍射技术可获得材料晶体结构及取向的宏观统计信息，但无法实现信息与微观组织形貌的统一分析； 透射电镜可实现材料微观组织形貌观察和晶体结构及取向分析的微区对应，但获取信息是微区和局部的； 背散射电子衍射兼备X射线衍射宏观统计分析和透射电镜电子衍射